Сенсорика. Современные технологии микро- и наноэлектроники

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Τίτλος: Сенсорика. Современные технологии микро- и наноэлектроники
Συνεισφορές: Сибирский федеральный университет, Институт инженерной физики и радиоэлектроники
Στοιχεία εκδότη: СФУ, 2013.
Έτος έκδοσης: 2013
Θεματικοί όροι: рекомендовано УМО, газовые сенсоры, конструирование датчиков, пьезоэлектрические датчики, магнитометрические датчики, сенсоры, наноразмерные сенсоры, учебные пособия, микроэлектронные датчики, оптические сенсоры, 621.382.7(07)
Περιγραφή: Раскрывается технологический аспект сенсорики, приводятся сведения о большом многообразии сенсоров. Отмечается важность нанотехнологического подхода к изготовлению сенсоров. Представлена информация о материалах химических сенсоров, их свойствах и принципах конструирования. Приведены примеры приборов, выпускаемых в настоящее время в промышленном масштабе. Описаны некоторые технологии изготовления эффективных наноразмерных сенсорных материалов, в том числе авторский метод приготовления оксидных (резистивных, пьезоэлектрических, магнитных) сенсорных материалов. Предназначено для студентов Института инженерной физики и радио- электроники СФУ, магистров и аспирантов, обучающихся по курсу «Современные технологии микро- и наноэлектроники», а также инженеров, специалистов и ученых, работающих в области технологии сенсоров.
Доступ к полному тексту открыт из сети СФУ, вне сети доступ возможен для читателей Научной библиотеки СФУ или за плату.
Учеб. пособие для магистров и аспирантов вузов по курсу "Современные технологии микро- и наноэлектроники".
http://catalog.sfu-kras.ru/ftext?621.38%2F%D0%9F207-540464
Τύπος εγγράφου: Book
Γλώσσα: Russian
Σύνδεσμος πρόσβασης: https://openrepository.ru/article?id=446379
Αριθμός Καταχώρησης: edsair.httpsopenrep..227eaf56b0e10c7b54ee292ed39f2289
Βάση Δεδομένων: OpenAIRE
Περιγραφή
Η περιγραφή δεν είναι διαθέσιμη