Book
Сенсорика. Современные технологии микро- и наноэлектроники
| Title: | Сенсорика. Современные технологии микро- и наноэлектроники |
|---|---|
| Contributors: | Сибирский федеральный университет, Институт инженерной физики и радиоэлектроники |
| Publisher Information: | СФУ, 2013. |
| Publication Year: | 2013 |
| Subject Terms: | рекомендовано УМО, газовые сенсоры, конструирование датчиков, пьезоэлектрические датчики, магнитометрические датчики, сенсоры, наноразмерные сенсоры, учебные пособия, микроэлектронные датчики, оптические сенсоры, 621.382.7(07) |
| Description: | Раскрывается технологический аспект сенсорики, приводятся сведения о большом многообразии сенсоров. Отмечается важность нанотехнологического подхода к изготовлению сенсоров. Представлена информация о материалах химических сенсоров, их свойствах и принципах конструирования. Приведены примеры приборов, выпускаемых в настоящее время в промышленном масштабе. Описаны некоторые технологии изготовления эффективных наноразмерных сенсорных материалов, в том числе авторский метод приготовления оксидных (резистивных, пьезоэлектрических, магнитных) сенсорных материалов. Предназначено для студентов Института инженерной физики и радио- электроники СФУ, магистров и аспирантов, обучающихся по курсу «Современные технологии микро- и наноэлектроники», а также инженеров, специалистов и ученых, работающих в области технологии сенсоров. Доступ к полному тексту открыт из сети СФУ, вне сети доступ возможен для читателей Научной библиотеки СФУ или за плату. Учеб. пособие для магистров и аспирантов вузов по курсу "Современные технологии микро- и наноэлектроники". http://catalog.sfu-kras.ru/ftext?621.38%2F%D0%9F207-540464 |
| Document Type: | Book |
| Language: | Russian |
| Access URL: | https://openrepository.ru/article?id=446379 |
| Accession Number: | edsair.httpsopenrep..227eaf56b0e10c7b54ee292ed39f2289 |
| Database: | OpenAIRE |
| Description not available. |