Bibliographic Details
| Title: |
INVESTIGATION OF THE STRUCTURE AND PROPERTIES OF SIOX FILMS SYNTHESIZED BY CHEMICAL ETCHING OF AMORPHOUS ALLOY BANDS |
| Source: |
Инженерная физика. |
| Publisher Information: |
The Publishing House "NAUCHTEHLITIZDAT", 2019. |
| Publication Year: |
2019 |
| Subject Terms: |
electronic microscopy, аморфные пленки SiOx, нейтронная дифракция, neutron diff raction, дифференциально-сканирующая калориметрия, Raman spectroscopy and infrared spectroscopy, атомно-силовая и электронная микроскопия, фаза кристобалита, atomic-force microscopy, structure and physical properties, cristobalite phase, рамановская и ИК-спектроскопия, amorphous SiOx fi lms |
| Description: |
Исследовано строение и физические свойства аморфных пленок SiOx, полученных химическим травлением аморфного ленточного сплава на основе железа. Нейтронная дифракция, а также атомно-силовая и электронная микроскопия показывают, что полученные визуально прозрачные пленки имеют аморфную структуру схожую с морфологией опалов и обладают диэлектрическими свойствами. Методами дифференциально-сканирующей калориметрии, рамановской и ИК-спектроскопии была проведена оценка степени упорядоченности в структуре образцов до и после их термической обработки. Установлено, что отжиг пленок в воздушной среде, при температуре 1273 K, приводит к изменению их химического состава в сторону соединения SiO2, с включениями фазы кристобалита. The present paper contains investigations of the structure and physical properties of amorphous SiOx fi lms synthesized by the chemical etching of the amorphous Fe-based alloy bands. Neutron diff raction, atomic-force microscopy and electronic microscopy prove that the synthesized visibly transparent fi lms have the amorphous structure, similar to the morphology of the annealed films and possessing dielectric properties. By using the methods of diff erential scanning calorimetry, Raman spectroscopy and infrared spectroscopy there was performed the assessment of the order in the structure of the samples prior to and after their thermal treatment. It was established that the annealing of the fi lms in the air medium at the temperature of 1273° K results in the changing of the fi lms’ chemical composition towards the SiOx compound, with inclusions of the cristobalite phase. |
| Document Type: |
Article |
| Language: |
Russian |
| ISSN: |
2072-9995 |
| DOI: |
10.25791/infizik.01.2019.387 |
| Accession Number: |
edsair.doi...........c1be2fe14d3a10e34c570e8c999b519e |
| Database: |
OpenAIRE |