Academic Journal
ВОЛНОВОЙ МИКРООПТОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ УГЛОВОЙ СКОРОСТИ С ИНТЕРФЕРОМЕТРОМ ФАБРИ-ПЕРО
| Title: | ВОЛНОВОЙ МИКРООПТОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ УГЛОВОЙ СКОРОСТИ С ИНТЕРФЕРОМЕТРОМ ФАБРИ-ПЕРО |
|---|---|
| Publisher Information: | Датчики и системы, 2019. |
| Publication Year: | 2019 |
| Subject Terms: | преобразователь угловой скорости, погрешность, angular velocity transducer, интерферометр Фабри-Перо, ring resonator, Fabry-Perot interferometer, processing unit, блок обработки информации, error, кольцевой резонатор |
| Description: | In the paper, we investigate the vibrating micro opto-electromechanical angular velocity transducer based on the Fabry-Perot interferometers with additional interferometer introduced at the excitation control circuit of sensing element. The analysis of influence of design parameters on the characteristics of the transducer is given. The information processing algorithm for micro-displacements to improve the accuracy of measurement is developed. The simulation of the device operation is provided in Matlab-Simulink system. Рассмотрен волновой микрооптоэлектромеханический преобразователь угловой скорости с интерферометром Фабри-Перо, дополнительно введенным в контур регулирования возбуждения чувствительного элемента. Проведен анализ влияния конструктивных параметров на характеристики преобразователя. Разработан алгоритм обработки информации о микроперемещнии для повышения точности измерения. Проведено моделирование работы устройства в среде Matlab-Simulink. №3(234) (2020) |
| Document Type: | Article |
| Language: | Russian |
| DOI: | 10.25728/datsys.2019.3.5 |
| Accession Number: | edsair.doi...........b6e058deb3ef8f7c2d68d4bc45a314e0 |
| Database: | OpenAIRE |
| DOI: | 10.25728/datsys.2019.3.5 |
|---|