Academic Journal
ИССЛЕДОВАНИЕ СИЛИЦИДООБРАЗОВАНИЯ ПРИ ТЕРМОДИФФУЗИИ Mn И Ba В КРЕМНИЙ
| Title: | ИССЛЕДОВАНИЕ СИЛИЦИДООБРАЗОВАНИЯ ПРИ ТЕРМОДИФФУЗИИ Mn И Ba В КРЕМНИЙ |
|---|---|
| Publisher Information: | Zenodo, 2023. |
| Publication Year: | 2023 |
| Subject Terms: | гетероструктурных пленок, силицид, наноэлектроника, эмиссионные свойства, граница раздела, оже-электронные спектры, интенсивность, концентрация |
| Description: | В настоящей работе исследованы характеристики тонких пленок Mn2Si3 и BaSi2, полученных с поверхности кремния методом термодиффузии в приповерхностном пограничном слое. Установлено, что интенсивность, энергетическое состояние и форма спектра Оже – электронов и тип химической связи определяются переходным процессом Оже – пик валентных электронов. Комплексный анализ показал, что если меняется только интенсивность, то химической связи нет, если Оже – пик расщепляются, то химическая связь есть. |
| Document Type: | Article |
| Language: | Russian |
| DOI: | 10.5281/zenodo.7905231 |
| Rights: | CC BY |
| Accession Number: | edsair.doi...........a58dd78c776a453ab8cd69eca007320c |
| Database: | OpenAIRE |
| DOI: | 10.5281/zenodo.7905231 |
|---|