Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
| Τίτλος: |
ПОЛУПРОВОДНИКОВ ТОНКИЕ ПЛЕНКИЕ В НАНОЭЛЕКТРОНИКЕ |
| Στοιχεία εκδότη: |
Zenodo, 2023. |
| Έτος έκδοσης: |
2023 |
| Θεματικοί όροι: |
тонких пленок, кремний, германий, ширины запрещенной зоны, ионно-плазменного, n-p- гетероструктура |
| Περιγραφή: |
В статьи приводится сведения о тонких пленках и рассмотрены основные процессы, происходящие при их формировании. Кратко рассмотрена также основные методы их получения и приведены сравнительные характеристики этих методов. Подробно рассмотрена принципы действия и конструкции установка для магнетронного нанесения пленок, работающих на постоянном тока и с использованием высокочастотные (ВЧ) распыления, и ионно-лучевому синтезу наноматериалов. |
| Τύπος εγγράφου: |
Article |
| DOI: |
10.5281/zenodo.7833465 |
| Rights: |
CC BY |
| Αριθμός Καταχώρησης: |
edsair.doi...........938514f96cbbb7df41df581303cd834d |
| Βάση Δεδομένων: |
OpenAIRE |