Academic Journal
ИССЛЕДОВАНИЕ СИЛИЦИДООБРАЗОВАНИЯ ПРИ ТЕРМОДИФФУЗИИ Mn И Ba В КРЕМНИЙ
| Τίτλος: | ИССЛЕДОВАНИЕ СИЛИЦИДООБРАЗОВАНИЯ ПРИ ТЕРМОДИФФУЗИИ Mn И Ba В КРЕМНИЙ |
|---|---|
| Στοιχεία εκδότη: | Zenodo, 2023. |
| Έτος έκδοσης: | 2023 |
| Θεματικοί όροι: | гетероструктурных пленок, силицид, наноэлектроника, эмиссионные свойства, граница раздела, оже-электронные спектры, интенсивность, концентрация |
| Περιγραφή: | В настоящей работе исследованы характеристики тонких пленок Mn2Si3 и BaSi2, полученных с поверхности кремния методом термодиффузии в приповерхностном пограничном слое. Установлено, что интенсивность, энергетическое состояние и форма спектра Оже – электронов и тип химической связи определяются переходным процессом Оже – пик валентных электронов. Комплексный анализ показал, что если меняется только интенсивность, то химической связи нет, если Оже – пик расщепляются, то химическая связь есть. |
| Τύπος εγγράφου: | Article |
| Γλώσσα: | Russian |
| DOI: | 10.5281/zenodo.7903165 |
| Rights: | CC BY |
| Αριθμός Καταχώρησης: | edsair.doi...........90ac357c9fb6454d3dc65f9ef56b74b2 |
| Βάση Δεδομένων: | OpenAIRE |
καταχωρήστε σχόλιο πρώτοι!