Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
| Τίτλος: |
ТЕРМОАНЕМОМЕТРИЧЕСКИЙ ДАТЧИК НА ОСНОВЕ SI |
| Στοιχεία εκδότη: |
Zenodo, 2023. |
| Έτος έκδοσης: |
2023 |
| Θεματικοί όροι: |
Ключевые слова: датчик, поток, легирование, кремний, никел, температура, диффузия, чувствительность, удельное сопротивление |
| Περιγραφή: |
Аннотаци. Приводится описания датчики скорости потока сплошных сред на основе кремния с нанокластерами атомов никеля обладающего высокой чувствительностью и стабильностью выходных параметров. Рассматривается режим диффузии никеля в кремний для создания датчика скорости потока сплошных сред. Исследованы электрофизические параметры датчика. |
| Τύπος εγγράφου: |
Article |
| Γλώσσα: |
Russian |
| DOI: |
10.5281/zenodo.8347356 |
| Rights: |
CC BY |
| Αριθμός Καταχώρησης: |
edsair.doi...........450fb8691239b95453c0788a6d79428c |
| Βάση Δεδομένων: |
OpenAIRE |