Bibliographic Details
| Title: |
ТЕРМОАНЕМОМЕТРИЧЕСКИЙ ДАТЧИК НА ОСНОВЕ SI |
| Publisher Information: |
Zenodo, 2023. |
| Publication Year: |
2023 |
| Subject Terms: |
Ключевые слова: датчик, поток, легирование, кремний, никел, температура, диффузия, чувствительность, удельное сопротивление |
| Description: |
Аннотаци. Приводится описания датчики скорости потока сплошных сред на основе кремния с нанокластерами атомов никеля обладающего высокой чувствительностью и стабильностью выходных параметров. Рассматривается режим диффузии никеля в кремний для создания датчика скорости потока сплошных сред. Исследованы электрофизические параметры датчика. |
| Document Type: |
Article |
| Language: |
Russian |
| DOI: |
10.5281/zenodo.8347356 |
| Rights: |
CC BY |
| Accession Number: |
edsair.doi...........450fb8691239b95453c0788a6d79428c |
| Database: |
OpenAIRE |