Academic Journal
View in EDS

Интеграция экологически безопасных практик в производственный процесс СМР при производстве полупроводников

Bibliographic Details
Title: Интеграция экологически безопасных практик в производственный процесс СМР при производстве полупроводников
Publisher Information: APNI, 2021.
Publication Year: 2021
Subject Terms: полупроводники, энергосбережение, химико-механическая планаризация, экологически безопасные практики, токсичные химические реагенты, экономическая целесообразность, рециклирование, CMP, рециркуляция воды
Description: The article discusses the possibilities of integrating environmentally sound practices into the process of chemical and mechanical planarization in the production of semiconductors. Special attention is paid to the analysis of modern technologies aimed at reducing the use of toxic chemicals, optimizing water and energy consumption, as well as recycling chemical solutions. Successful examples of the implementation of environmental solutions in the largest semiconductor companies are considered. Based on the conducted research, the economic feasibility of using environmentally friendly solutions is assessed in terms of reducing resource costs and increasing operational efficiency.
В статье рассматриваются возможности интеграции экологически безопасных практик в процесс химико-механической планаризации при производстве полупроводников. Особое внимание уделяется анализу современных технологий, направленных на снижение использования токсичных химических реагентов, оптимизацию потребления воды и энергии, а также рециклирование химических растворов. Рассматриваются успешные примеры внедрения экологических решений в крупнейших полупроводниковых компаниях. На основе проведенных исследований оценивается экономическая целесообразность применения экологически безопасных решений с точки зрения сокращения затрат на ресурсы и повышения операционной эффективности.
Document Type: Article
Language: Russian
DOI: 10.5281/zenodo.13990571
Rights: CC BY
Accession Number: edsair.doi...........2d1eafbca49fd48e60cedb7ca06bb8c0
Database: OpenAIRE
FullText Text:
  Availability: 0
Header DbId: edsair
DbLabel: OpenAIRE
An: edsair.doi...........2d1eafbca49fd48e60cedb7ca06bb8c0
RelevancyScore: 854
AccessLevel: 3
PubType: Academic Journal
PubTypeId: academicJournal
PreciseRelevancyScore: 854.128295898438
IllustrationInfo
Items – Name: Title
  Label: Title
  Group: Ti
  Data: Интеграция экологически безопасных практик в производственный процесс СМР при производстве полупроводников
– Name: Publisher
  Label: Publisher Information
  Group: PubInfo
  Data: APNI, 2021.
– Name: DatePubCY
  Label: Publication Year
  Group: Date
  Data: 2021
– Name: Subject
  Label: Subject Terms
  Group: Su
  Data: <searchLink fieldCode="DE" term="%22полупроводники%22">полупроводники</searchLink><br /><searchLink fieldCode="DE" term="%22энергосбережение%22">энергосбережение</searchLink><br /><searchLink fieldCode="DE" term="%22химико-механическая+планаризация%22">химико-механическая планаризация</searchLink><br /><searchLink fieldCode="DE" term="%22экологически+безопасные+практики%22">экологически безопасные практики</searchLink><br /><searchLink fieldCode="DE" term="%22токсичные+химические+реагенты%22">токсичные химические реагенты</searchLink><br /><searchLink fieldCode="DE" term="%22экономическая+целесообразность%22">экономическая целесообразность</searchLink><br /><searchLink fieldCode="DE" term="%22рециклирование%22">рециклирование</searchLink><br /><searchLink fieldCode="DE" term="%22CMP%22">CMP</searchLink><br /><searchLink fieldCode="DE" term="%22рециркуляция+воды%22">рециркуляция воды</searchLink>
– Name: Abstract
  Label: Description
  Group: Ab
  Data: The article discusses the possibilities of integrating environmentally sound practices into the process of chemical and mechanical planarization in the production of semiconductors. Special attention is paid to the analysis of modern technologies aimed at reducing the use of toxic chemicals, optimizing water and energy consumption, as well as recycling chemical solutions. Successful examples of the implementation of environmental solutions in the largest semiconductor companies are considered. Based on the conducted research, the economic feasibility of using environmentally friendly solutions is assessed in terms of reducing resource costs and increasing operational efficiency.<br />В статье рассматриваются возможности интеграции экологически безопасных практик в процесс химико-механической планаризации при производстве полупроводников. Особое внимание уделяется анализу современных технологий, направленных на снижение использования токсичных химических реагентов, оптимизацию потребления воды и энергии, а также рециклирование химических растворов. Рассматриваются успешные примеры внедрения экологических решений в крупнейших полупроводниковых компаниях. На основе проведенных исследований оценивается экономическая целесообразность применения экологически безопасных решений с точки зрения сокращения затрат на ресурсы и повышения операционной эффективности.
– Name: TypeDocument
  Label: Document Type
  Group: TypDoc
  Data: Article
– Name: Language
  Label: Language
  Group: Lang
  Data: Russian
– Name: DOI
  Label: DOI
  Group: ID
  Data: 10.5281/zenodo.13990571
– Name: Copyright
  Label: Rights
  Group: Cpyrght
  Data: CC BY
– Name: AN
  Label: Accession Number
  Group: ID
  Data: edsair.doi...........2d1eafbca49fd48e60cedb7ca06bb8c0
PLink https://search.ebscohost.com/login.aspx?direct=true&site=eds-live&db=edsair&AN=edsair.doi...........2d1eafbca49fd48e60cedb7ca06bb8c0
RecordInfo BibRecord:
  BibEntity:
    Identifiers:
      – Type: doi
        Value: 10.5281/zenodo.13990571
    Languages:
      – Text: Russian
    Subjects:
      – SubjectFull: полупроводники
        Type: general
      – SubjectFull: энергосбережение
        Type: general
      – SubjectFull: химико-механическая планаризация
        Type: general
      – SubjectFull: экологически безопасные практики
        Type: general
      – SubjectFull: токсичные химические реагенты
        Type: general
      – SubjectFull: экономическая целесообразность
        Type: general
      – SubjectFull: рециклирование
        Type: general
      – SubjectFull: CMP
        Type: general
      – SubjectFull: рециркуляция воды
        Type: general
    Titles:
      – TitleFull: Интеграция экологически безопасных практик в производственный процесс СМР при производстве полупроводников
        Type: main
  BibRelationships:
    IsPartOfRelationships:
      – BibEntity:
          Dates:
            – D: 24
              M: 12
              Type: published
              Y: 2021
          Identifiers:
            – Type: issn-locals
              Value: edsair
ResultId 1