Academic Journal
Интеграция экологически безопасных практик в производственный процесс СМР при производстве полупроводников
| Τίτλος: | Интеграция экологически безопасных практик в производственный процесс СМР при производстве полупроводников |
|---|---|
| Στοιχεία εκδότη: | APNI, 2021. |
| Έτος έκδοσης: | 2021 |
| Θεματικοί όροι: | полупроводники, энергосбережение, химико-механическая планаризация, экологически безопасные практики, токсичные химические реагенты, экономическая целесообразность, рециклирование, CMP, рециркуляция воды |
| Περιγραφή: | The article discusses the possibilities of integrating environmentally sound practices into the process of chemical and mechanical planarization in the production of semiconductors. Special attention is paid to the analysis of modern technologies aimed at reducing the use of toxic chemicals, optimizing water and energy consumption, as well as recycling chemical solutions. Successful examples of the implementation of environmental solutions in the largest semiconductor companies are considered. Based on the conducted research, the economic feasibility of using environmentally friendly solutions is assessed in terms of reducing resource costs and increasing operational efficiency. В статье рассматриваются возможности интеграции экологически безопасных практик в процесс химико-механической планаризации при производстве полупроводников. Особое внимание уделяется анализу современных технологий, направленных на снижение использования токсичных химических реагентов, оптимизацию потребления воды и энергии, а также рециклирование химических растворов. Рассматриваются успешные примеры внедрения экологических решений в крупнейших полупроводниковых компаниях. На основе проведенных исследований оценивается экономическая целесообразность применения экологически безопасных решений с точки зрения сокращения затрат на ресурсы и повышения операционной эффективности. |
| Τύπος εγγράφου: | Article |
| Γλώσσα: | Russian |
| DOI: | 10.5281/zenodo.13990571 |
| Rights: | CC BY |
| Αριθμός Καταχώρησης: | edsair.doi...........2d1eafbca49fd48e60cedb7ca06bb8c0 |
| Βάση Δεδομένων: | OpenAIRE |
| DOI: | 10.5281/zenodo.13990571 |
|---|