Bibliographic Details
| Title: |
Synthesis of thin- film structures of vanadium oxide by spray- pyrolysis |
| Authors: |
Pecherskaya, Ekaterina, Zinchenko, Timur, Gurin, Sergey, Golubkov, Pavel, Alexandrov, Vladimir |
| Publisher Information: |
St. Petersburg State Polytechnical University Journal. Physics and Mathematics, 2023. |
| Publication Year: |
2023 |
| Subject Terms: |
спрей - пиролиза, информационно-измерительная и управлящая система, information-measuring control system, transition metal oxides, vanadium pentoxide, тонкопленочная структура, spray-pyrolysis, пятиокись ванадия |
| Description: |
Among semiconductors based on transition metal oxides, vanadium pentoxide has generated considerable interest in recent decades due to its wide range of applications. The physical properties of the films depend on certain parameters, such as the level and ratio of dopants, substrate temperature, deposition conditions, heat treatment, substrate material. In this study, it was found that increasing the substrate temperature resulted in an increase in the transparency of the films; as the temperature increased, the microstructure of the film became thinner, leading to an increase in the refractive index; reducing structural defects decreased the extinction coefficient of the films.
Физические свойства пленок зависят от определенных параметров, таких как уровень и соотношение легирующих добавок, температура подложки, условия осаждения, термообработка, материал подложки. В данной работе выявлено, что при повышении температуры подложки прозрачность пленок увеличивалась; с повышением температуры микроструктура пленки становится более тонкой, что приводит к повышению показателя преломления; уменьшение структурных дефектов уменьшает коэффициент экстинкции пленок. |
| Document Type: |
Other literature type |
| Language: |
English |
| DOI: |
10.18721/jpm.163.163 |
| Accession Number: |
edsair.doi...........13cccc988f3a5987ea5514f65d009f77 |
| Database: |
OpenAIRE |