Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
| Τίτλος: |
Чувствительный элемент пьезоэлектрического МЭМС-датчика вибрации на основе ниобата лития: выпускная квалификационная работа бакалавра |
| Στοιχεία εκδότη: |
Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, 2025. |
| Έτος έκδοσης: |
2025 |
| Θεματικοί όροι: |
MATLAB, resonant frequency, energy harvester, vibrations, вибрации, comparative modeling, KOMPAS, piezoelectric sensor, консольная балка, инерционная масса, сравнительное моделирование, пьезоэлектрический датчик, МЭМС, нитрид алюминия, cantilever beam, математическая модель, inertial mass, lithium niobate, оксид цинка, резонансная частота, zinc oxide, КОМПАС, максимальное напряжение, энергосборник, MEMS, aluminum nitride, ниобат лития, maximum stress, mathematical model |
| Περιγραφή: |
Работа посвящена исследованию МЭМС-консольная балка с пьезоэлектрическим элементом и разработке Влияние свойств пьезоэлектрических материалов на резонансные характеристики и напряжение в конструкции МЭМС. Цель работы – Сравнительный анализ частоты и напряжения для пьезоэлектрических материалов в консольной балке. Для достижения поставленной цели решены следующие задачи: 1. Разработать математическую модель для расчёта резонансной частоты и напряжения; 2. Реализовать параметрическое моделирование в MATLAB; 3. Провести сравнительный анализ материалов LiNbO₃, AlN и ZnO. В результате исследования построена модель консольной балки, выполнено параметрическое моделирование в MATLAB и создана 3D-модель в Компас для визуализации. В результате исследования получены зависимости резонансной частоты и максимального напряжения от размеров структуры. Была построена модель консольной балки с заданными параметрами. Выполнено параметрическое моделирование в MATLAB. Построена 3D-модель структуры в Компас-3D для наглядного представления объекта.
Object of study is Influence of piezoelectric material properties (LiNbO₃, AlN, ZnO) on the resonance and stress characteristics of a MEMS structure. The aim is Comparative analysis of resonance frequency and maximum stress for various piezoelectric materials in a cantilever beam structure. The following tasks were solved: Develop a mathematical model for calculating resonance frequency and stress; Implement parametric simulation in MATLAB; Perform comparative analysis of LiNbO₃, AlN and ZnO materials. As a result of the study, A cantilever beam model was created with specified parameters. Parametric modeling was carried out in MATLAB. A 3D model of the structure was built in Kompas-3D for visual representation of the object. As a result of the study, Dependence of resonance frequency and maximum stress on structural dimensions was obtained. MATLAB was used for modeling and analysis, and Kompas-3D was used to build the geometric model of the studied object. |
| Τύπος εγγράφου: |
Other literature type |
| Γλώσσα: |
Russian |
| DOI: |
10.18720/spbpu/3/2025/vr/vr25-4691 |
| Αριθμός Καταχώρησης: |
edsair.doi...........0a158bd49222b84bd87e8c23e50c2760 |
| Βάση Δεδομένων: |
OpenAIRE |