JA, L., BD, H., AE, V., & JS, V. (2018). Electron beam-based metrology after CMOS. APL materials, 6, . https://doi.org/10.1063/1.5038249
Παραπομπή σε μορφή Chicago (17η εκδ.)JA, Liddle, Hoskins BD, Vladár AE, και Villarrubia JS. "Electron Beam-based Metrology After CMOS." APL Materials 6 (2018). https://doi.org/10.1063/1.5038249.
Παραπομπή σε μορφή MLA (9th εκδ.)JA, Liddle, et al. "Electron Beam-based Metrology After CMOS." APL Materials, vol. 6, 2018, https://doi.org/10.1063/1.5038249.
Πρόσοχή: Οι παραπομπές μπορεί να μην είναι 100% ακριβείς.