Dissertation/ Thesis
Integration of silicon micro- and nano-structures for thermoelectric generators
| Τίτλος: | Integration of silicon micro- and nano-structures for thermoelectric generators |
|---|---|
| Συγγραφείς: | Rodriguez Iglesias, Alex |
| Thesis Advisors: | Fernandez Regulez, Marta, Martin Fernandez, Iñigo, Salleras Freixes, Marc, Barniol i Beumala, Núria |
| Πηγή: | TDX (Tesis Doctorals en Xarxa) |
| Στοιχεία εκδότη: | Universitat Autònoma de Barcelona, 2026. |
| Έτος έκδοσης: | 2026 |
| Φυσική περιγραφή: | 265 p. |
| Θεματικοί όροι: | Termoelectricitat, Thermoelectricity, Termoelectricidad, Silici, Silicon, Silicio, Nanoestructuració, Nanostructuring, Nanoestructuración, Tecnologies |
| Περιγραφή: | Aprofitar les fonts d’energia ambientals per satisfer la creixent demanda dels dispositius electrònics és un repte clau per reduir la petjada ambiental de la nostra societat. Entre les fonts disponibles, la calor presenta un futur prometedor a causa de la seva presència ubiqua com a subproducte en els processos relacionats amb l’energia, la indústria i el transport. En aquest context, els generadors termoelèctrics destaquen com una possible via per convertir calor en electricitat, ja que són dispositius compactes i robustos (i.e. no tenen parts mòbils i, per tant, necessiten poc o cap manteniment) i presenten una excel·lent escalabilitat (i.e. es poden reduir de mida sense empitjorar-ne l’eficiència). Aquestes propietats fan que els generadors termoelèctrics siguin candidats prometedors per alimentar dispositius portàtils o sensors, en particular aquells que operen en entorns adversos, com ara els nodes de sensors de l’anomenat Internet de les Coses. Tanmateix, l’ús actual dels generadors termoelèctrics continua sent limitat, ja que la majoria dels dispositius comercials es basen en materials costosos i tòxics, com el tel·lurur de bismut. Per això cal explorar materials alternatius. En aquest context, el silici destaca per la seva abundància, no toxicitat i excel·lents capacitats d’integració i miniaturització. No obstant això, l’elevada conductivitat tèrmica del silici limita les seves capacitats termoelèctriques, de manera que cal abordar aquest desafiament per fer-lo viable en aplicacions termoelèctriques. L’objectiu d’aquesta tesi és, per tant, investigar el potencial del silici com a material termoelèctric. Per aconseguir-ho, s’han emprat dues estratègies. La primera és nanoestructurar el silici en forma de nanofils o de capes fines nanoestructurades. En aquest cas, les propietats termoelèctriques del silici es milloren gràcies a les limitacions dimensionals de les estructures. Els nanofils s’han crescut gràcies a una col·laboració amb l’IREC, mentre que les capes nanoestructurades s’han desenvolupat completament en el marc d’aquesta tesi. El segon enfocament consisteix a utilitzar microestructures de silici. Com que en aquest cas no es milloren les propietats termoelèctriques del material, l’objectiu d’aquesta estratègia és explorar si una millora considerable en la gestió tèrmica del generador pot fer viable el silici. Per investigar aquestes tres estructures s’han fabricat diversos dispositius i micro-generadors termoelèctrics utilitzant la tecnologia de silici. A més, també s’ha desenvolupat una metodologia per poder integrar un dissipador de calor als micro-generadors termoelèctrics amb l’objectiu de maximitzar-ne el rendiment. En el cas de les microestructures i dels nanofils de silici, s’han fabricat i caracteritzat micro-generadors termoelèctrics amb dissipador de calor sota condicions que imiten escenaris operatius reals. S’han obtingut densitats de potència dins dels requeriments de l’Internet de les Coses (i.e. superiors a 10 µW/cm²) a temperatures superiors als 175ºC, mentre que s’han assolit potències en l’ordre dels microvats a temperatures més moderades (per sobre dels 100ºC). A més, s’han mesurat les propietats tèrmiques, elèctriques i el coeficient de Seebeck de les capes fines nanoestructurades utilitzant dispositius de test específicament dissenyats. Aquestes mesures van demostrar un increment superior a vuit vegades en la figura de mèrit termoelèctrica en comparació amb el silici no estructurat. Les capacitats de generació de voltatge s’han investigat en microgeneradors termoelèctrics basats en les capes fines nanoestructurades. S’ha observat un augment de 4.4 vegades en el gradient tèrmic que eren capaços d’aprofitar en comparació amb els millors generadors basats en nanofils. Aquests resultats demostren que les capes fines amb nanoestructures ofereixen una millora significativa, tant en les propietats termoelèctriques com en la generació termoelèctrica, en comparació amb la primera generació de nanoestructures de silici (i.e. els nanofils). |
| Description (Translated): | Aprovechar las fuentes de energía medioambientales para satisfacer la creciente demanda de los dispositivos electrónicos es un desafío clave para reducir la huella ambiental de nuestra sociedad. Entre las fuentes disponibles, el calor presenta un futuro prometedor debido a su presencia ubicua como subproducto en los procesos relacionados con la energía, la industria y el transporte. En este contexto, los generadores termoeléctricos destacan como una posible ruta para convertir calor en electricidad debido a que son dispositivos compactos y robustos (i.e. no tienen partes móviles y, por lo tanto, necesitan poco o ningún mantenimiento) y poseen una escalabilidad excelente (i.e. se pueden reducir en tamaño sin empeorar su eficiencia). Estas propiedades hacen que los generadores termoeléctricos sean candidatos prometedores para alimentar dispositivos portátiles o sensores, en particular aquellos que operan en entornos adversos, como los nodos de sensores del llamado Internet de las Cosas. Sin embargo, el uso actual de los generadores termoeléctricos sigue siendo limitado debido a que la mayoría de los dispositivos comerciales están basados en materiales costosos y tóxicos, como el telururo de bismuto. Es por ello que se deben explorar materiales alternativos. En este contexto el silicio destaca por su abundancia, no toxicidad y excelentes capacidades de integración y miniaturización. No obstante, la alta conductividad térmica del silicio limita sus capacidades termoeléctricas, por lo que hay que abordar este desafío para hacer al silicio viable en aplicaciones termoeléctricas. El objetivo de esta tesis es por lo tanto investigar el potencial del silicio como material termoeléctrico. Para ello se han empleado dos estrategias. La primera es nanoestructurar el silicio en forma de nanohilos o de capas finas nanoestructuradas. En este caso se mejoran las propiedades termoeléctricas del silicio gracias a las limitaciones dimensionales de las estructuras. Los nanohilos se han crecido gracias a una colaboración con el IREC, mientras que las capas nanoestructuradas se han desarrollado por completo en el marco de esta tesis. El segundo enfoque consiste en utilizar microestructuras de silicio. Como en este caso no se mejoran las propiedades termoeléctricas del material, el objetivo de esta estrategia es explorar si una mejora considerable en la gestión térmica del generador puede hacer viable al silicio. Para investigar estas tres estructuras se han fabricado varios dispositivos y micro-generadores termoeléctricos usando la tecnología de silicio. Además, se ha desarrollado también una metodología para poder integrar un disipador de calor en los micro-generadores termoeléctricos con el objetivo de maximizar su rendimiento. En el caso de las microestructuras y los nanohilos de silicio, se han fabricado y caracterizado micro-generadores termoeléctricos con disipador de calor bajo condiciones que imitan escenarios operativos reales. Se obtuvieron densidades de potencia dentro de los requerimientos del Internet de las Cosas (i.e. superiores a 10 µW/cm²) a temperaturas superiores a 175ºC, mientras que se alcanzaron potencias en el rango de los microvatios a temperaturas más moderadas (por encima de 100ºC). Además, se han medido las propiedades térmicas, eléctricas y el coeficiente de Seebeck de las capas finas nanoestructuradas usando dispositivos de test específicamente diseñados. Estas mediciones demostraron un incremento superior a 8 veces en la figura de mérito termoeléctrica en comparación con el silicio sin estructurar. Las capacidades de generación de voltaje se investigaron en micro-generadores termoeléctricos basados en capas finas nanoestructuradas. Se observó un aumento de 4.4 veces en el gradiente térmico que eran capaces de aprovechar en comparación con los mejores generadores basados en nanohilos. Estos resultados demuestran que las capas finas con nanoestructuras ofrecen una mejora significativa, tanto en las propiedades termoeléctricas como en la generación termoeléctrica, en comparación con la primera generación de nanoestructuras de silicio (i.e. los nanohilos). Harvesting environmental energy sources to meet the growing demand of electronic devices is a key challenge in reducing the environmental footprint of our society. Among the available sources, heat offers a promising future due to its ubiquitous presence as a byproduct in industry, transportation and energy-related processes. In this context, thermoelectric generators stand out as a route to convert heat into electricity, as they are compact and robust devices (i.e. they have no moving parts and therefore require little to no maintenance) and posses excellent scalability (i.e. they can be reduced in size without affecting their efficiency). These properties make thermoelectric generators promising candidates for powering wearable or sensor devices, particularly those operating in harsh environments, such as Internet of Things sensor nodes. Nonetheless, the current use of thermoelectric generators remains significantly limited because most commercial devices are based on expensive and toxic materials like bismuth telluride. Therefore, alternative materials must be explored. Silicon is a prominent choice due to its abundance, non-toxicity, and excellent integration and miniaturization capabilities. However, the high thermal conductivity of bulk silicon limits its thermoelectric efficiency. Therefore, for silicon to be viable in thermoelectric applications, this challenge must be addressed. The objective of this thesis is to investigate the potential of silicon as a thermoelectric material. Two main approaches were employed for this purpose. The first is nanostructuring silicon in the form of nanowires and nano-patterned thin films. In this case, the thermoelectric properties of silicon are enhanced by the dimensional constraints of the structures. Silicon nanowires were grown by IREC collaborators, whereas the patterned thin films were fully developed within this thesis. The second approach involves using silicon microbeams. Here the thermoelectric properties of silicon remain equivalent to those of bulk, and the objective is to explore whether enhancing thermal management on thermoelectric generator can make bulk silicon viable in this application. Various micro-test devices and micro-thermoelectric generators were fabricated in this thesis using silicon technology to investigate the structures described above. Moreover, a reliable procedure to integrate a heat sink onto the micro-thermoelectric generators was developed to maximize their performance. In the case of nanowires and microbeams, fully packed micro-thermoelectric generators with heat sink were fabricated and characterized under conditions that mimic real operational scenarios. Power densities well within the internet of thing requirements (i.e. above 10 µW/cm²) were obtained for temperatures above 175ºC, while powers in the microwatt range were achieved under moderate hot temperatures (above 100ºC). Thermal, electrical and Seebeck measurements employing micro-test devices were performed to study the thermoelectric properties of the patterned thin films. These measurements demonstrated more than an 8-fold increase in the thermoelectric figure of merit compared to bulk silicon. Voltage generation capabilities were investigated in micro-thermoelectric generators based on the patterned thin films. A 4.4-fold increase in the harvested thermal gradient was observed compared to the best nanowires-based micro-thermoelectric generators. These results demonstrated that nano-patterned films offer a significant improvement both in terms of thermoelectric properties and thermoelectric generation compared to the first generation of silicon structures (i.e. nanowires). Universitat Autònoma de Barcelona. Programa de Doctorat en Enginyeria Electrònica i de Telecomunicació |
| Τύπος εγγράφου: | Dissertation/Thesis |
| Περιγραφή αρχείου: | application/pdf |
| Γλώσσα: | English |
| Σύνδεσμος πρόσβασης: | https://hdl.handle.net/10803/696970 |
| Rights: | L'accés als continguts d'aquesta tesi queda condicionat a l'acceptació de les condicions d'ús establertes per la següent llicència Creative Commons: http://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/4.0/ |
| Αριθμός Καταχώρησης: | edstdx.10803.696970 |
| Βάση Δεδομένων: | TDX |
| FullText | Text: Availability: 0 CustomLinks: – Url: https://hdl.handle.net/10803/696970# Name: EDS - TDX (ns324271) Category: fullText Text: View record in TDX |
|---|---|
| Header | DbId: edstdx DbLabel: TDX An: edstdx.10803.696970 RelevancyScore: 1435 AccessLevel: 3 PubType: Dissertation/ Thesis PubTypeId: dissertation PreciseRelevancyScore: 1435.11901855469 |
| IllustrationInfo | |
| Items | – Name: Title Label: Title Group: Ti Data: Integration of silicon micro- and nano-structures for thermoelectric generators – Name: Author Label: Authors Group: Au Data: <searchLink fieldCode="AR" term="%22Rodriguez+Iglesias%2C+Alex%22">Rodriguez Iglesias, Alex</searchLink> – Name: Author Label: Thesis Advisors Group: Au Data: Fernandez Regulez, Marta<br />Martin Fernandez, Iñigo<br />Salleras Freixes, Marc<br />Barniol i Beumala, Núria – Name: TitleSource Label: Source Group: Src Data: TDX (Tesis Doctorals en Xarxa) – Name: Publisher Label: Publisher Information Group: PubInfo Data: Universitat Autònoma de Barcelona, 2026. – Name: DatePubCY Label: Publication Year Group: Date Data: 2026 – Name: PhysDesc Label: Physical Description Group: PhysDesc Data: 265 p. – Name: Subject Label: Subject Terms Group: Su Data: <searchLink fieldCode="DE" term="%22Termoelectricitat%22">Termoelectricitat</searchLink><br /><searchLink fieldCode="DE" term="%22Thermoelectricity%22">Thermoelectricity</searchLink><br /><searchLink fieldCode="DE" term="%22Termoelectricidad%22">Termoelectricidad</searchLink><br /><searchLink fieldCode="DE" term="%22Silici%22">Silici</searchLink><br /><searchLink fieldCode="DE" term="%22Silicon%22">Silicon</searchLink><br /><searchLink fieldCode="DE" term="%22Silicio%22">Silicio</searchLink><br /><searchLink fieldCode="DE" term="%22Nanoestructuració%22">Nanoestructuració</searchLink><br /><searchLink fieldCode="DE" term="%22Nanostructuring%22">Nanostructuring</searchLink><br /><searchLink fieldCode="DE" term="%22Nanoestructuración%22">Nanoestructuración</searchLink><br /><searchLink fieldCode="DE" term="%22Tecnologies%22">Tecnologies</searchLink> – Name: Abstract Label: Description Group: Ab Data: Aprofitar les fonts d’energia ambientals per satisfer la creixent demanda dels dispositius electrònics és un repte clau per reduir la petjada ambiental de la nostra societat. Entre les fonts disponibles, la calor presenta un futur prometedor a causa de la seva presència ubiqua com a subproducte en els processos relacionats amb l’energia, la indústria i el transport. En aquest context, els generadors termoelèctrics destaquen com una possible via per convertir calor en electricitat, ja que són dispositius compactes i robustos (i.e. no tenen parts mòbils i, per tant, necessiten poc o cap manteniment) i presenten una excel·lent escalabilitat (i.e. es poden reduir de mida sense empitjorar-ne l’eficiència). Aquestes propietats fan que els generadors termoelèctrics siguin candidats prometedors per alimentar dispositius portàtils o sensors, en particular aquells que operen en entorns adversos, com ara els nodes de sensors de l’anomenat Internet de les Coses. Tanmateix, l’ús actual dels generadors termoelèctrics continua sent limitat, ja que la majoria dels dispositius comercials es basen en materials costosos i tòxics, com el tel·lurur de bismut. Per això cal explorar materials alternatius. En aquest context, el silici destaca per la seva abundància, no toxicitat i excel·lents capacitats d’integració i miniaturització. No obstant això, l’elevada conductivitat tèrmica del silici limita les seves capacitats termoelèctriques, de manera que cal abordar aquest desafiament per fer-lo viable en aplicacions termoelèctriques. L’objectiu d’aquesta tesi és, per tant, investigar el potencial del silici com a material termoelèctric. Per aconseguir-ho, s’han emprat dues estratègies. La primera és nanoestructurar el silici en forma de nanofils o de capes fines nanoestructurades. En aquest cas, les propietats termoelèctriques del silici es milloren gràcies a les limitacions dimensionals de les estructures. Els nanofils s’han crescut gràcies a una col·laboració amb l’IREC, mentre que les capes nanoestructurades s’han desenvolupat completament en el marc d’aquesta tesi. El segon enfocament consisteix a utilitzar microestructures de silici. Com que en aquest cas no es milloren les propietats termoelèctriques del material, l’objectiu d’aquesta estratègia és explorar si una millora considerable en la gestió tèrmica del generador pot fer viable el silici. Per investigar aquestes tres estructures s’han fabricat diversos dispositius i micro-generadors termoelèctrics utilitzant la tecnologia de silici. A més, també s’ha desenvolupat una metodologia per poder integrar un dissipador de calor als micro-generadors termoelèctrics amb l’objectiu de maximitzar-ne el rendiment. En el cas de les microestructures i dels nanofils de silici, s’han fabricat i caracteritzat micro-generadors termoelèctrics amb dissipador de calor sota condicions que imiten escenaris operatius reals. S’han obtingut densitats de potència dins dels requeriments de l’Internet de les Coses (i.e. superiors a 10 µW/cm²) a temperatures superiors als 175ºC, mentre que s’han assolit potències en l’ordre dels microvats a temperatures més moderades (per sobre dels 100ºC). A més, s’han mesurat les propietats tèrmiques, elèctriques i el coeficient de Seebeck de les capes fines nanoestructurades utilitzant dispositius de test específicament dissenyats. Aquestes mesures van demostrar un increment superior a vuit vegades en la figura de mèrit termoelèctrica en comparació amb el silici no estructurat. Les capacitats de generació de voltatge s’han investigat en microgeneradors termoelèctrics basats en les capes fines nanoestructurades. S’ha observat un augment de 4.4 vegades en el gradient tèrmic que eren capaços d’aprofitar en comparació amb els millors generadors basats en nanofils. Aquests resultats demostren que les capes fines amb nanoestructures ofereixen una millora significativa, tant en les propietats termoelèctriques com en la generació termoelèctrica, en comparació amb la primera generació de nanoestructures de silici (i.e. els nanofils). – Name: Abstract Label: Description (Translated) Group: Ab Data: Aprovechar las fuentes de energía medioambientales para satisfacer la creciente demanda de los dispositivos electrónicos es un desafío clave para reducir la huella ambiental de nuestra sociedad. Entre las fuentes disponibles, el calor presenta un futuro prometedor debido a su presencia ubicua como subproducto en los procesos relacionados con la energía, la industria y el transporte. En este contexto, los generadores termoeléctricos destacan como una posible ruta para convertir calor en electricidad debido a que son dispositivos compactos y robustos (i.e. no tienen partes móviles y, por lo tanto, necesitan poco o ningún mantenimiento) y poseen una escalabilidad excelente (i.e. se pueden reducir en tamaño sin empeorar su eficiencia). Estas propiedades hacen que los generadores termoeléctricos sean candidatos prometedores para alimentar dispositivos portátiles o sensores, en particular aquellos que operan en entornos adversos, como los nodos de sensores del llamado Internet de las Cosas. Sin embargo, el uso actual de los generadores termoeléctricos sigue siendo limitado debido a que la mayoría de los dispositivos comerciales están basados en materiales costosos y tóxicos, como el telururo de bismuto. Es por ello que se deben explorar materiales alternativos. En este contexto el silicio destaca por su abundancia, no toxicidad y excelentes capacidades de integración y miniaturización. No obstante, la alta conductividad térmica del silicio limita sus capacidades termoeléctricas, por lo que hay que abordar este desafío para hacer al silicio viable en aplicaciones termoeléctricas. El objetivo de esta tesis es por lo tanto investigar el potencial del silicio como material termoeléctrico. Para ello se han empleado dos estrategias. La primera es nanoestructurar el silicio en forma de nanohilos o de capas finas nanoestructuradas. En este caso se mejoran las propiedades termoeléctricas del silicio gracias a las limitaciones dimensionales de las estructuras. Los nanohilos se han crecido gracias a una colaboración con el IREC, mientras que las capas nanoestructuradas se han desarrollado por completo en el marco de esta tesis. El segundo enfoque consiste en utilizar microestructuras de silicio. Como en este caso no se mejoran las propiedades termoeléctricas del material, el objetivo de esta estrategia es explorar si una mejora considerable en la gestión térmica del generador puede hacer viable al silicio. Para investigar estas tres estructuras se han fabricado varios dispositivos y micro-generadores termoeléctricos usando la tecnología de silicio. Además, se ha desarrollado también una metodología para poder integrar un disipador de calor en los micro-generadores termoeléctricos con el objetivo de maximizar su rendimiento. En el caso de las microestructuras y los nanohilos de silicio, se han fabricado y caracterizado micro-generadores termoeléctricos con disipador de calor bajo condiciones que imitan escenarios operativos reales. Se obtuvieron densidades de potencia dentro de los requerimientos del Internet de las Cosas (i.e. superiores a 10 µW/cm²) a temperaturas superiores a 175ºC, mientras que se alcanzaron potencias en el rango de los microvatios a temperaturas más moderadas (por encima de 100ºC). Además, se han medido las propiedades térmicas, eléctricas y el coeficiente de Seebeck de las capas finas nanoestructuradas usando dispositivos de test específicamente diseñados. Estas mediciones demostraron un incremento superior a 8 veces en la figura de mérito termoeléctrica en comparación con el silicio sin estructurar. Las capacidades de generación de voltaje se investigaron en micro-generadores termoeléctricos basados en capas finas nanoestructuradas. Se observó un aumento de 4.4 veces en el gradiente térmico que eran capaces de aprovechar en comparación con los mejores generadores basados en nanohilos. Estos resultados demuestran que las capas finas con nanoestructuras ofrecen una mejora significativa, tanto en las propiedades termoeléctricas como en la generación termoeléctrica, en comparación con la primera generación de nanoestructuras de silicio (i.e. los nanohilos).<br />Harvesting environmental energy sources to meet the growing demand of electronic devices is a key challenge in reducing the environmental footprint of our society. Among the available sources, heat offers a promising future due to its ubiquitous presence as a byproduct in industry, transportation and energy-related processes. In this context, thermoelectric generators stand out as a route to convert heat into electricity, as they are compact and robust devices (i.e. they have no moving parts and therefore require little to no maintenance) and posses excellent scalability (i.e. they can be reduced in size without affecting their efficiency). These properties make thermoelectric generators promising candidates for powering wearable or sensor devices, particularly those operating in harsh environments, such as Internet of Things sensor nodes. Nonetheless, the current use of thermoelectric generators remains significantly limited because most commercial devices are based on expensive and toxic materials like bismuth telluride. Therefore, alternative materials must be explored. Silicon is a prominent choice due to its abundance, non-toxicity, and excellent integration and miniaturization capabilities. However, the high thermal conductivity of bulk silicon limits its thermoelectric efficiency. Therefore, for silicon to be viable in thermoelectric applications, this challenge must be addressed. The objective of this thesis is to investigate the potential of silicon as a thermoelectric material. Two main approaches were employed for this purpose. The first is nanostructuring silicon in the form of nanowires and nano-patterned thin films. In this case, the thermoelectric properties of silicon are enhanced by the dimensional constraints of the structures. Silicon nanowires were grown by IREC collaborators, whereas the patterned thin films were fully developed within this thesis. The second approach involves using silicon microbeams. Here the thermoelectric properties of silicon remain equivalent to those of bulk, and the objective is to explore whether enhancing thermal management on thermoelectric generator can make bulk silicon viable in this application. Various micro-test devices and micro-thermoelectric generators were fabricated in this thesis using silicon technology to investigate the structures described above. Moreover, a reliable procedure to integrate a heat sink onto the micro-thermoelectric generators was developed to maximize their performance. In the case of nanowires and microbeams, fully packed micro-thermoelectric generators with heat sink were fabricated and characterized under conditions that mimic real operational scenarios. Power densities well within the internet of thing requirements (i.e. above 10 µW/cm²) were obtained for temperatures above 175ºC, while powers in the microwatt range were achieved under moderate hot temperatures (above 100ºC). Thermal, electrical and Seebeck measurements employing micro-test devices were performed to study the thermoelectric properties of the patterned thin films. These measurements demonstrated more than an 8-fold increase in the thermoelectric figure of merit compared to bulk silicon. Voltage generation capabilities were investigated in micro-thermoelectric generators based on the patterned thin films. A 4.4-fold increase in the harvested thermal gradient was observed compared to the best nanowires-based micro-thermoelectric generators. These results demonstrated that nano-patterned films offer a significant improvement both in terms of thermoelectric properties and thermoelectric generation compared to the first generation of silicon structures (i.e. nanowires).<br />Universitat Autònoma de Barcelona. Programa de Doctorat en Enginyeria Electrònica i de Telecomunicació – Name: TypeDocument Label: Document Type Group: TypDoc Data: Dissertation/Thesis – Name: Format Label: File Description Group: SrcInfo Data: application/pdf – Name: Language Label: Language Group: Lang Data: English – Name: URL Label: Access URL Group: URL Data: <link linkTarget="URL" linkTerm="https://hdl.handle.net/10803/696970" linkWindow="_blank">https://hdl.handle.net/10803/696970</link> – Name: Copyright Label: Rights Group: Cpyrght Data: L'accés als continguts d'aquesta tesi queda condicionat a l'acceptació de les condicions d'ús establertes per la següent llicència Creative Commons: http://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/4.0/ – Name: AN Label: Accession Number Group: ID Data: edstdx.10803.696970 |
| PLink | https://search.ebscohost.com/login.aspx?direct=true&site=eds-live&db=edstdx&AN=edstdx.10803.696970 |
| RecordInfo | BibRecord: BibEntity: Languages: – Text: English PhysicalDescription: Pagination: PageCount: 265 Subjects: – SubjectFull: Termoelectricitat Type: general – SubjectFull: Thermoelectricity Type: general – SubjectFull: Termoelectricidad Type: general – SubjectFull: Silici Type: general – SubjectFull: Silicon Type: general – SubjectFull: Silicio Type: general – SubjectFull: Nanoestructuració Type: general – SubjectFull: Nanostructuring Type: general – SubjectFull: Nanoestructuración Type: general – SubjectFull: Tecnologies Type: general Titles: – TitleFull: Integration of silicon micro- and nano-structures for thermoelectric generators Type: main BibRelationships: HasContributorRelationships: – PersonEntity: Name: NameFull: Rodriguez Iglesias, Alex IsPartOfRelationships: – BibEntity: Dates: – D: 03 M: 03 Type: published Y: 2026 |
| ResultId | 1 |