Academic Journal
Диагностика материалов для газовых сенсоров на основе дисилицида молибдена
| Title: | Диагностика материалов для газовых сенсоров на основе дисилицида молибдена |
|---|---|
| Publisher Information: | КДУ, 2023. |
| Publication Year: | 2023 |
| Subject Terms: | плазменное напыление, газовые сенсоры, ионно-ассистированное осаждение, методы резерфордовского обратного рассеяния, модифицированное осаждение Мо покрытий, металлические покрытия, дисилицид молибдена |
| Document Type: | Article |
| File Description: | application/pdf |
| Language: | Russian |
| Access URL: | https://rep.bsatu.by/handle/doc/20663 |
| Accession Number: | edsair.od......4262..b5da182dc97b1f766a982778d28bbbc7 |
| Database: | OpenAIRE |
| Description not available. |