Academic Journal
Морфология Ti, V покрытий для тыльных контактов биосенсоров
| Title: | Морфология Ti, V покрытий для тыльных контактов биосенсоров |
|---|---|
| Publisher Information: | Севастопольский государственный университет, 2022. |
| Publication Year: | 2022 |
| Subject Terms: | thin films, magnetron sputtering, тонкие пленки, сенсоры, магнетронное распыление, тыльные контакты, surface topography, топография поверхности, sensors, rear contact |
| Description: | Целью работы являлось исследование влияния наличие тыльного проводящего слоя полученного магнетронным распылением Ti, а так же параметров процесса нанесения и последующего отжига на свойства топографии и структуру поверхности пленок оксида ванадия VOx, осажденных методом реактивного магнетронного распыления V мишени в Ar/O2 смеси газов. The aim of this work was to study the effect of the presence of a rear conducting layer obtained by magnetron sputtering of Ti, as well as the parameters of the deposition process and subsequent annealing, on the topographic properties and surface structure of vanadium oxide VOx films deposited by reactive magnetron sputtering of a V-target in an Ar/O2 gas mixture. |
| Document Type: | Article |
| File Description: | application/pdf |
| Language: | Russian |
| Access URL: | https://rep.bsatu.by/handle/doc/17813 |
| Accession Number: | edsair.od......4262..8a7c402fe6fa46e84bf7322f27ff0a74 |
| Database: | OpenAIRE |
Be the first to leave a comment!