Academic Journal
Изучение элементного состава приповерхностных слоев структур, полученных ионно-ассистируемым осаждением хрома на образцы из Si и Al
| Τίτλος: | Изучение элементного состава приповерхностных слоев структур, полученных ионно-ассистируемым осаждением хрома на образцы из Si и Al |
|---|---|
| Στοιχεία εκδότη: | БГТУ, 2023. |
| Έτος έκδοσης: | 2023 |
| Θεματικοί όροι: | осаждение покрытий, распределение элементов в Cr/Si-структурах, метод резерфордовского обратного рассеяния, метод резонансных ядерных реакций, покрытия на основе хрома, метод ионно-ассистируемого осаждения в вакууме, распределение элементов в Сr/Al-структурах |
| Περιγραφή: | В работе представлены экспериментальные результаты по изучению распределения элементов в Cr/Si- и Сr/Al-структурах, сформированных методом ионно-ассистируемого осаждения в вакууме. Распределение элементов по глубине в сформированных покрытиях изучались методами резерфордовского обратного рассеяния ионов гелия и резонансных ядерных реакций. |
| Τύπος εγγράφου: | Article |
| Περιγραφή αρχείου: | application/pdf |
| Γλώσσα: | Russian |
| Σύνδεσμος πρόσβασης: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/61599 |
| Αριθμός Καταχώρησης: | edsair.od......3992..f7697d99c882ebf501f3737f14ea8dcb |
| Βάση Δεδομένων: | OpenAIRE |
| Η περιγραφή δεν είναι διαθέσιμη |