Academic Journal
Исследование процессов термического окисления тонких оловянных пленок
| Title: | Исследование процессов термического окисления тонких оловянных пленок |
|---|---|
| Publisher Information: | 2018. |
| Publication Year: | 2018 |
| Subject Terms: | тонкие оловянные пленки, металлооксидные полупроводники, тонкопленочные оксидно-оловянные покрытия, оксидно-оловянные пленки, неизотермическое окисление, термическое окисление, пленки металлического олова |
| Description: | Работа посвящена исследованию изменений структурных и электрофизических параметров, происходящих при неизотермическом окислении тонких оловянных пленок, а также изучению структуры и химического состава оксидно-оловянных пленок, полученных термическим окислением. |
| Document Type: | Article |
| File Description: | application/pdf |
| Access URL: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/27150 |
| Accession Number: | edsair.od......3992..d79d10bd7d390a214ddfede3696e9ef2 |
| Database: | OpenAIRE |
| Description not available. |