Academic Journal
Измерение удельного сопротивления поверхностного слоя полупроводникового газоанализатора
| Title: | Измерение удельного сопротивления поверхностного слоя полупроводникового газоанализатора |
|---|---|
| Publisher Information: | БГТУ, 2023. |
| Publication Year: | 2023 |
| Subject Terms: | четырехэлектродный метод измерения, измерение удельного сопротивления, газоанализаторы, удельное сопротивление, полупроводниковые газоанализаторы, полупроводниковые сенсоры |
| Description: | Большинство методов измерения удельного сопротивления основывается на определении разницы потенциалов рабочего участка образца, который находится под действием электрического тока. Для полупроводниковых приборов часто применяют зондовые методы, которые не требуют подготовки образца. Одним из наиболее эффективных методов является четырехэлектродный метод измерения удельного сопротивления. |
| Document Type: | Article |
| File Description: | application/pdf |
| Language: | Russian |
| Access URL: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/58992 |
| Accession Number: | edsair.od......3992..ce271e58ebcb850efe3d3b7c5a8c8b0d |
| Database: | OpenAIRE |
| Description not available. |