Bibliographic Details
| Title: |
Модификация поверхностных слоев кремния и стекла ионно-лучевым распылением титана и кобальта |
| Publisher Information: |
2023. |
| Publication Year: |
2023 |
| Subject Terms: |
шероховатость поверхности, сканирующая зондовая микроскопия, гидрофильность поверхности, модификация поверхностных слоев, титан, кобальт, ионно-лучевое распыление, кремний |
| Description: |
Изучены морфология и гидрофильность поверхности металлических (Ti и Сo) пленок на кремнии после облучения ионами Xe{+} и на стекле осажденных в условиях ассистирования собственными ионами. Показано, что облучения кремния ионами Xe с энергиями в диапазоне 10-40 кэВ и флюенсе 10{14} см{−2} не вызывает изменения морфологии поверхности. С ростом времени осаждения пленок гидрофильность поверхности стекла снижается. |
| Document Type: |
Article |
| File Description: |
application/pdf |
| Language: |
Russian |
| Access URL: |
https://elib.belstu.by/handle/123456789/57040 |
| Accession Number: |
edsair.od......3992..c41d8ad7ab38ca005c53f89ce3b49a9c |
| Database: |
OpenAIRE |