Academic Journal
Модификация поверхностных слоев кремния и стекла ионно-лучевым распылением титана и кобальта
| Title: | Модификация поверхностных слоев кремния и стекла ионно-лучевым распылением титана и кобальта |
|---|---|
| Publisher Information: | 2023. |
| Publication Year: | 2023 |
| Subject Terms: | шероховатость поверхности, сканирующая зондовая микроскопия, гидрофильность поверхности, модификация поверхностных слоев, титан, кобальт, ионно-лучевое распыление, кремний |
| Description: | Изучены морфология и гидрофильность поверхности металлических (Ti и Сo) пленок на кремнии после облучения ионами Xe{+} и на стекле осажденных в условиях ассистирования собственными ионами. Показано, что облучения кремния ионами Xe с энергиями в диапазоне 10-40 кэВ и флюенсе 10{14} см{−2} не вызывает изменения морфологии поверхности. С ростом времени осаждения пленок гидрофильность поверхности стекла снижается. |
| Document Type: | Article |
| File Description: | application/pdf |
| Language: | Russian |
| Access URL: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/57040 |
| Accession Number: | edsair.od......3992..c41d8ad7ab38ca005c53f89ce3b49a9c |
| Database: | OpenAIRE |
Be the first to leave a comment!