Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
| Τίτλος: |
Модификация поверхностных слоев кремния и стекла ионно-лучевым распылением титана и кобальта |
| Στοιχεία εκδότη: |
2023. |
| Έτος έκδοσης: |
2023 |
| Θεματικοί όροι: |
шероховатость поверхности, сканирующая зондовая микроскопия, гидрофильность поверхности, модификация поверхностных слоев, титан, кобальт, ионно-лучевое распыление, кремний |
| Περιγραφή: |
Изучены морфология и гидрофильность поверхности металлических (Ti и Сo) пленок на кремнии после облучения ионами Xe{+} и на стекле осажденных в условиях ассистирования собственными ионами. Показано, что облучения кремния ионами Xe с энергиями в диапазоне 10-40 кэВ и флюенсе 10{14} см{−2} не вызывает изменения морфологии поверхности. С ростом времени осаждения пленок гидрофильность поверхности стекла снижается. |
| Τύπος εγγράφου: |
Article |
| Περιγραφή αρχείου: |
application/pdf |
| Γλώσσα: |
Russian |
| Σύνδεσμος πρόσβασης: |
https://elib.belstu.by/handle/123456789/57040 |
| Αριθμός Καταχώρησης: |
edsair.od......3992..c41d8ad7ab38ca005c53f89ce3b49a9c |
| Βάση Δεδομένων: |
OpenAIRE |