Academic Journal

Модификация поверхностных слоев кремния и стекла ионно-лучевым распылением титана и кобальта

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Τίτλος: Модификация поверхностных слоев кремния и стекла ионно-лучевым распылением титана и кобальта
Στοιχεία εκδότη: 2023.
Έτος έκδοσης: 2023
Θεματικοί όροι: шероховатость поверхности, сканирующая зондовая микроскопия, гидрофильность поверхности, модификация поверхностных слоев, титан, кобальт, ионно-лучевое распыление, кремний
Περιγραφή: Изучены морфология и гидрофильность поверхности металлических (Ti и Сo) пленок на кремнии после облучения ионами Xe{+} и на стекле осажденных в условиях ассистирования собственными ионами. Показано, что облучения кремния ионами Xe с энергиями в диапазоне 10-40 кэВ и флюенсе 10{14} см{−2} не вызывает изменения морфологии поверхности. С ростом времени осаждения пленок гидрофильность поверхности стекла снижается.
Τύπος εγγράφου: Article
Περιγραφή αρχείου: application/pdf
Γλώσσα: Russian
Σύνδεσμος πρόσβασης: https://elib.belstu.by/handle/123456789/57040
Αριθμός Καταχώρησης: edsair.od......3992..c41d8ad7ab38ca005c53f89ce3b49a9c
Βάση Δεδομένων: OpenAIRE
Περιγραφή
Η περιγραφή δεν είναι διαθέσιμη