Academic Journal
Προβολή σε EDS

Состав Ti/Si- и Co/Si-структур, сформированных ионно-ассистируемым осаждением

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Τίτλος: Состав Ti/Si- и Co/Si-структур, сформированных ионно-ассистируемым осаждением
Στοιχεία εκδότη: БГТУ, 2022.
Έτος έκδοσης: 2022
Θεματικοί όροι: ионно-ассистируемое осаждение, метод резонансных ядерных реакций, титан, водород, кобальт, резерфордовское обратное рассеяние, кремний
Περιγραφή: В работе обсуждаются экспериментальные результаты по изучению распределения элементов в приповерхностных слоях Ti/Si- и Со/Si-структур, сформированных методом ионно-ассистируемого осаждения в вакууме. Этот метод заключается в осаждении покрытия на подложку, в процессе которого поверхность формируемой структуры облучается пучком ускоренных ионов. Время осаждения покрытий составляло 2 ч при ускоряющем напряжении U = 7 кВ и плотности ионного тока ∼4−5 мкА/см2. В рабочей камере в процессе осаждения покрытий поддерживался вакуум при давлении ~10−2 Па. Средняя скорость нанесения покрытия находилась в пределах 0,2−0,4 нм/мин. Отношение Ji / Jа плотности потока Ji ассистирующих ионов к плотности потока Jа нейтральных атомов составляло 0,1−0,4, что соответствует условию роста покрытия на подложке. Состав и распределение элементов по глубине в сформированных покрытиях изучались методом резерфордовского обратного рассеяния ионов гелия в сочетании с компьютерным моделированием RUMP и методом резонансных ядерных реакций. Установлено, что при ионно-ассистируемом осаждении на подложки из кремния покрытий на основе хрома или титана формируются поверхностные структуры толщиной ∼100‒150 нм. В состав покрытия входят: атомы осаждаемого металла, атомы из подложки (Si), атомы технологических примесей кислорода, углерода и водорода. Сформированные покрытия содержат ∼15‒20 ат. % водорода в зависимости от параметров осаждения покрытий. Источником атомов технологических примесей в покрытии является летучая фракция углеводородов вакуумного масла диффузионного паромасляного насоса. Концентрация атомов водорода в сформированных структурах уменьшается в ∼1,5‒2 раза при повторных сканированиях образцов пучком анализирующих ионов N+ в экспериментах с применением резонансной ядерной реакции, что связано с дегазацией атомов водорода и его соединений, которые химически слабо связаны с атомами покрытия
Τύπος εγγράφου: Article
Περιγραφή αρχείου: application/pdf
Γλώσσα: Russian
DOI: 10.52065/2520-6141-2022-260-2-60–64
Σύνδεσμος πρόσβασης: https://elib.belstu.by/handle/123456789/50805
Αριθμός Καταχώρησης: edsair.od......3992..b1d4e26e7e26ca6af249c00e821c61a2
Βάση Δεδομένων: OpenAIRE
FullText Text:
  Availability: 0
Header DbId: edsair
DbLabel: OpenAIRE
An: edsair.od......3992..b1d4e26e7e26ca6af249c00e821c61a2
RelevancyScore: 877
AccessLevel: 3
PubType: Academic Journal
PubTypeId: academicJournal
PreciseRelevancyScore: 876.866149902344
IllustrationInfo
Items – Name: Title
  Label: Title
  Group: Ti
  Data: Состав Ti/Si- и Co/Si-структур, сформированных ионно-ассистируемым осаждением
– Name: Publisher
  Label: Publisher Information
  Group: PubInfo
  Data: БГТУ, 2022.
– Name: DatePubCY
  Label: Publication Year
  Group: Date
  Data: 2022
– Name: Subject
  Label: Subject Terms
  Group: Su
  Data: <searchLink fieldCode="DE" term="%22ионно-ассистируемое+осаждение%22">ионно-ассистируемое осаждение</searchLink><br /><searchLink fieldCode="DE" term="%22метод+резонансных+ядерных+реакций%22">метод резонансных ядерных реакций</searchLink><br /><searchLink fieldCode="DE" term="%22титан%22">титан</searchLink><br /><searchLink fieldCode="DE" term="%22водород%22">водород</searchLink><br /><searchLink fieldCode="DE" term="%22кобальт%22">кобальт</searchLink><br /><searchLink fieldCode="DE" term="%22резерфордовское+обратное+рассеяние%22">резерфордовское обратное рассеяние</searchLink><br /><searchLink fieldCode="DE" term="%22кремний%22">кремний</searchLink>
– Name: Abstract
  Label: Description
  Group: Ab
  Data: В работе обсуждаются экспериментальные результаты по изучению распределения элементов в приповерхностных слоях Ti/Si- и Со/Si-структур, сформированных методом ионно-ассистируемого осаждения в вакууме. Этот метод заключается в осаждении покрытия на подложку, в процессе которого поверхность формируемой структуры облучается пучком ускоренных ионов. Время осаждения покрытий составляло 2 ч при ускоряющем напряжении U = 7 кВ и плотности ионного тока ∼4−5 мкА/см2. В рабочей камере в процессе осаждения покрытий поддерживался вакуум при давлении ~10−2 Па. Средняя скорость нанесения покрытия находилась в пределах 0,2−0,4 нм/мин. Отношение Ji / Jа плотности потока Ji ассистирующих ионов к плотности потока Jа нейтральных атомов составляло 0,1−0,4, что соответствует условию роста покрытия на подложке. Состав и распределение элементов по глубине в сформированных покрытиях изучались методом резерфордовского обратного рассеяния ионов гелия в сочетании с компьютерным моделированием RUMP и методом резонансных ядерных реакций. Установлено, что при ионно-ассистируемом осаждении на подложки из кремния покрытий на основе хрома или титана формируются поверхностные структуры толщиной ∼100‒150 нм. В состав покрытия входят: атомы осаждаемого металла, атомы из подложки (Si), атомы технологических примесей кислорода, углерода и водорода. Сформированные покрытия содержат ∼15‒20 ат. % водорода в зависимости от параметров осаждения покрытий. Источником атомов технологических примесей в покрытии является летучая фракция углеводородов вакуумного масла диффузионного паромасляного насоса. Концентрация атомов водорода в сформированных структурах уменьшается в ∼1,5‒2 раза при повторных сканированиях образцов пучком анализирующих ионов N+ в экспериментах с применением резонансной ядерной реакции, что связано с дегазацией атомов водорода и его соединений, которые химически слабо связаны с атомами покрытия
– Name: TypeDocument
  Label: Document Type
  Group: TypDoc
  Data: Article
– Name: Format
  Label: File Description
  Group: SrcInfo
  Data: application/pdf
– Name: Language
  Label: Language
  Group: Lang
  Data: Russian
– Name: DOI
  Label: DOI
  Group: ID
  Data: 10.52065/2520-6141-2022-260-2-60–64
– Name: URL
  Label: Access URL
  Group: URL
  Data: <link linkTarget="URL" linkTerm="https://elib.belstu.by/handle/123456789/50805" linkWindow="_blank">https://elib.belstu.by/handle/123456789/50805</link>
– Name: AN
  Label: Accession Number
  Group: ID
  Data: edsair.od......3992..b1d4e26e7e26ca6af249c00e821c61a2
PLink https://search.ebscohost.com/login.aspx?direct=true&site=eds-live&db=edsair&AN=edsair.od......3992..b1d4e26e7e26ca6af249c00e821c61a2
RecordInfo BibRecord:
  BibEntity:
    Identifiers:
      – Type: doi
        Value: 10.52065/2520-6141-2022-260-2-60–64
    Languages:
      – Text: Russian
    Subjects:
      – SubjectFull: ионно-ассистируемое осаждение
        Type: general
      – SubjectFull: метод резонансных ядерных реакций
        Type: general
      – SubjectFull: титан
        Type: general
      – SubjectFull: водород
        Type: general
      – SubjectFull: кобальт
        Type: general
      – SubjectFull: резерфордовское обратное рассеяние
        Type: general
      – SubjectFull: кремний
        Type: general
    Titles:
      – TitleFull: Состав Ti/Si- и Co/Si-структур, сформированных ионно-ассистируемым осаждением
        Type: main
  BibRelationships:
    IsPartOfRelationships:
      – BibEntity:
          Dates:
            – D: 07
              M: 10
              Type: published
              Y: 2022
          Identifiers:
            – Type: issn-locals
              Value: edsair
ResultId 1