APA (7th ed.) Citation

(2022). Состав Ti/Si- и Co/Si-структур, сформированных ионно-ассистируемым осаждением. https://doi.org/10.52065/2520-6141-2022-260-2-60–64

Chicago Style (17th ed.) Citation

Состав Ti/Si- и Co/Si-структур, сформированных ионно-ассистируемым осаждением. 2022. https://doi.org/10.52065/2520-6141-2022-260-2-60–64.

MLA (9th ed.) Citation

Состав Ti/Si- и Co/Si-структур, сформированных ионно-ассистируемым осаждением. 2022. https://doi.org/10.52065/2520-6141-2022-260-2-60–64.