Bibliographic Details
| Title: |
Модернизация САУ для процесса изготовления фотошаблона |
| Publisher Information: |
БГТУ, 2024. |
| Publication Year: |
2024 |
| Subject Terms: |
системы автоматизированного управления, изготовление фотошаблона, автоматизация изготовления фотошаблона, фотошаблоны |
| Description: |
В установке используется способ нанесения фоторезиста центрифугированием. Установку и снятие шаблонов с патрона центрифуги выполняет оператор. Операции обдува шаблона азотом, дозирование фоторезиста и вращение шаблона с заданной частотой и продолжительностью выполняется автоматически. |
| Document Type: |
Article |
| File Description: |
application/pdf |
| Language: |
Russian |
| Access URL: |
https://elib.belstu.by/handle/123456789/67151 |
| Accession Number: |
edsair.od......3992..acd6b27472f907566c77c7525db41c58 |
| Database: |
OpenAIRE |