Academic Journal
Модернизация САУ для процесса изготовления фотошаблона
| Τίτλος: | Модернизация САУ для процесса изготовления фотошаблона |
|---|---|
| Στοιχεία εκδότη: | БГТУ, 2024. |
| Έτος έκδοσης: | 2024 |
| Θεματικοί όροι: | системы автоматизированного управления, изготовление фотошаблона, автоматизация изготовления фотошаблона, фотошаблоны |
| Περιγραφή: | В установке используется способ нанесения фоторезиста центрифугированием. Установку и снятие шаблонов с патрона центрифуги выполняет оператор. Операции обдува шаблона азотом, дозирование фоторезиста и вращение шаблона с заданной частотой и продолжительностью выполняется автоматически. |
| Τύπος εγγράφου: | Article |
| Περιγραφή αρχείου: | application/pdf |
| Γλώσσα: | Russian |
| Σύνδεσμος πρόσβασης: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/67151 |
| Αριθμός Καταχώρησης: | edsair.od......3992..acd6b27472f907566c77c7525db41c58 |
| Βάση Δεδομένων: | OpenAIRE |
καταχωρήστε σχόλιο πρώτοι!