Academic Journal
Модернизация САУ для процесса изготовления фотошаблона
| Title: | Модернизация САУ для процесса изготовления фотошаблона |
|---|---|
| Publisher Information: | БГТУ, 2024. |
| Publication Year: | 2024 |
| Subject Terms: | системы автоматизированного управления, изготовление фотошаблона, автоматизация изготовления фотошаблона, фотошаблоны |
| Description: | В установке используется способ нанесения фоторезиста центрифугированием. Установку и снятие шаблонов с патрона центрифуги выполняет оператор. Операции обдува шаблона азотом, дозирование фоторезиста и вращение шаблона с заданной частотой и продолжительностью выполняется автоматически. |
| Document Type: | Article |
| File Description: | application/pdf |
| Language: | Russian |
| Access URL: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/67151 |
| Accession Number: | edsair.od......3992..acd6b27472f907566c77c7525db41c58 |
| Database: | OpenAIRE |
Be the first to leave a comment!