Academic Journal

Модернизация САУ для процесса изготовления фотошаблона

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Τίτλος: Модернизация САУ для процесса изготовления фотошаблона
Στοιχεία εκδότη: БГТУ, 2024.
Έτος έκδοσης: 2024
Θεματικοί όροι: системы автоматизированного управления, изготовление фотошаблона, автоматизация изготовления фотошаблона, фотошаблоны
Περιγραφή: В установке используется способ нанесения фоторезиста центрифугированием. Установку и снятие шаблонов с патрона центрифуги выполняет оператор. Операции обдува шаблона азотом, дозирование фоторезиста и вращение шаблона с заданной частотой и продолжительностью выполняется автоматически.
Τύπος εγγράφου: Article
Περιγραφή αρχείου: application/pdf
Γλώσσα: Russian
Σύνδεσμος πρόσβασης: https://elib.belstu.by/handle/123456789/67151
Αριθμός Καταχώρησης: edsair.od......3992..acd6b27472f907566c77c7525db41c58
Βάση Δεδομένων: OpenAIRE
Περιγραφή
Η περιγραφή δεν είναι διαθέσιμη