Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
| Τίτλος: |
Модернизация САУ для процесса изготовления фотошаблона |
| Στοιχεία εκδότη: |
БГТУ, 2024. |
| Έτος έκδοσης: |
2024 |
| Θεματικοί όροι: |
системы автоматизированного управления, изготовление фотошаблона, автоматизация изготовления фотошаблона, фотошаблоны |
| Περιγραφή: |
В установке используется способ нанесения фоторезиста центрифугированием. Установку и снятие шаблонов с патрона центрифуги выполняет оператор. Операции обдува шаблона азотом, дозирование фоторезиста и вращение шаблона с заданной частотой и продолжительностью выполняется автоматически. |
| Τύπος εγγράφου: |
Article |
| Περιγραφή αρχείου: |
application/pdf |
| Γλώσσα: |
Russian |
| Σύνδεσμος πρόσβασης: |
https://elib.belstu.by/handle/123456789/67151 |
| Αριθμός Καταχώρησης: |
edsair.od......3992..acd6b27472f907566c77c7525db41c58 |
| Βάση Δεδομένων: |
OpenAIRE |