Academic Journal
Получение тонких пленок на основе оксида вольфрама и ислледование возможности их использования в качестве чувствительных слоев в газовых сенсорах
| Title: | Получение тонких пленок на основе оксида вольфрама и ислледование возможности их использования в качестве чувствительных слоев в газовых сенсорах |
|---|---|
| Publisher Information: | БГТУ, 2022. |
| Publication Year: | 2022 |
| Subject Terms: | газовые сенсоры, оксид ванадия, оксид вольфрама, кислород, газочувствительность пленок, тонкие пленки, магнетронное распыление |
| Description: | Тонкие пленки на основе оксида вольфрама с добавками ванадия были получены путем магнетронного распыления мишени W-V мозаичного типа на подложку из окисленного кремния с последующим окислением в воздушной атмосфере при температуре 400 °С. Полученные пленки были исследованы на газочувствительность при повышенной температуре в атмосфере с контролируемой концентрацией водорода и различной влажностью путем измерения проводимости пленок. Пленки показали хорощую чувствительность к водороду. При анализе экспериментальных данных было выяснено, что наиболее благоприятными условиями является темпрература 370-470 °С, так как в этом интервале пленки демонстрируют высокую чувствительность к водороду и малое время отклика. Полученные пленки могут быть использованы в качестве сенсорных слоев в датчиках на водород и другие газы. |
| Document Type: | Article |
| File Description: | application/pdf |
| Language: | Russian |
| Access URL: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/44908 |
| Accession Number: | edsair.od......3992..968d50f966e2c306d60e27ebd4c4d608 |
| Database: | OpenAIRE |
Be the first to leave a comment!