Academic Journal
Получение тонких пленок на основе оксида вольфрама и ислледование возможности их использования в качестве чувствительных слоев в газовых сенсорах
| Τίτλος: | Получение тонких пленок на основе оксида вольфрама и ислледование возможности их использования в качестве чувствительных слоев в газовых сенсорах |
|---|---|
| Στοιχεία εκδότη: | БГТУ, 2022. |
| Έτος έκδοσης: | 2022 |
| Θεματικοί όροι: | газовые сенсоры, оксид ванадия, оксид вольфрама, кислород, газочувствительность пленок, тонкие пленки, магнетронное распыление |
| Περιγραφή: | Тонкие пленки на основе оксида вольфрама с добавками ванадия были получены путем магнетронного распыления мишени W-V мозаичного типа на подложку из окисленного кремния с последующим окислением в воздушной атмосфере при температуре 400 °С. Полученные пленки были исследованы на газочувствительность при повышенной температуре в атмосфере с контролируемой концентрацией водорода и различной влажностью путем измерения проводимости пленок. Пленки показали хорощую чувствительность к водороду. При анализе экспериментальных данных было выяснено, что наиболее благоприятными условиями является темпрература 370-470 °С, так как в этом интервале пленки демонстрируют высокую чувствительность к водороду и малое время отклика. Полученные пленки могут быть использованы в качестве сенсорных слоев в датчиках на водород и другие газы. |
| Τύπος εγγράφου: | Article |
| Περιγραφή αρχείου: | application/pdf |
| Γλώσσα: | Russian |
| Σύνδεσμος πρόσβασης: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/44908 |
| Αριθμός Καταχώρησης: | edsair.od......3992..968d50f966e2c306d60e27ebd4c4d608 |
| Βάση Δεδομένων: | OpenAIRE |
καταχωρήστε σχόλιο πρώτοι!