Academic Journal
Дефектообразование в арсениде галлия при имплантации ионов алюминия и фосфора
| Title: | Дефектообразование в арсениде галлия при имплантации ионов алюминия и фосфора |
|---|---|
| Publisher Information: | 2023. |
| Publication Year: | 2023 |
| Subject Terms: | арсенид галлия, ионы гелия, дефектообразование, ионы алюминия, имплантация ионов, ионы фосфора, резерфордовское обратное рассеяние |
| Description: | В настоящей работе методом резерфордовского обратного рассеяния ионов гелия в сочетании с каналированием (РОРКИ) исследовано дефектообразование в кристаллах (111) GaAs, имплантированных ионами алюминия энергией 60 кэВ и дозами 4,0·10{13} Al{+}/см{2} – 8,1·10{15} Al{+}/см{2} при комнатной температуре и фосфора с энергией 60 кэВ до дозы 4,0·10{14} Р{+}/см{2} после термического отжига в интервале температур 150−450 °С. |
| Document Type: | Article |
| File Description: | application/pdf |
| Language: | Russian |
| Access URL: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/57020 |
| Accession Number: | edsair.od......3992..5d94d0e52e90ac822f07bab4c9fd744f |
| Database: | OpenAIRE |
Be the first to leave a comment!