Academic Journal
View in EDS

Дефектообразование в арсениде галлия при имплантации ионов алюминия и фосфора

Bibliographic Details
Title: Дефектообразование в арсениде галлия при имплантации ионов алюминия и фосфора
Publisher Information: 2023.
Publication Year: 2023
Subject Terms: арсенид галлия, ионы гелия, дефектообразование, ионы алюминия, имплантация ионов, ионы фосфора, резерфордовское обратное рассеяние
Description: В настоящей работе методом резерфордовского обратного рассеяния ионов гелия в сочетании с каналированием (РОРКИ) исследовано дефектообразование в кристаллах (111) GaAs, имплантированных ионами алюминия энергией 60 кэВ и дозами 4,0·10{13} Al{+}/см{2} – 8,1·10{15} Al{+}/см{2} при комнатной температуре и фосфора с энергией 60 кэВ до дозы 4,0·10{14} Р{+}/см{2} после термического отжига в интервале температур 150−450 °С.
Document Type: Article
File Description: application/pdf
Language: Russian
Access URL: https://elib.belstu.by/handle/123456789/57020
Accession Number: edsair.od......3992..5d94d0e52e90ac822f07bab4c9fd744f
Database: OpenAIRE
FullText Text:
  Availability: 0
Header DbId: edsair
DbLabel: OpenAIRE
An: edsair.od......3992..5d94d0e52e90ac822f07bab4c9fd744f
RelevancyScore: 890
AccessLevel: 3
PubType: Academic Journal
PubTypeId: academicJournal
PreciseRelevancyScore: 889.731811523438
IllustrationInfo
Items – Name: Title
  Label: Title
  Group: Ti
  Data: Дефектообразование в арсениде галлия при имплантации ионов алюминия и фосфора
– Name: Publisher
  Label: Publisher Information
  Group: PubInfo
  Data: 2023.
– Name: DatePubCY
  Label: Publication Year
  Group: Date
  Data: 2023
– Name: Subject
  Label: Subject Terms
  Group: Su
  Data: <searchLink fieldCode="DE" term="%22арсенид+галлия%22">арсенид галлия</searchLink><br /><searchLink fieldCode="DE" term="%22ионы+гелия%22">ионы гелия</searchLink><br /><searchLink fieldCode="DE" term="%22дефектообразование%22">дефектообразование</searchLink><br /><searchLink fieldCode="DE" term="%22ионы+алюминия%22">ионы алюминия</searchLink><br /><searchLink fieldCode="DE" term="%22имплантация+ионов%22">имплантация ионов</searchLink><br /><searchLink fieldCode="DE" term="%22ионы+фосфора%22">ионы фосфора</searchLink><br /><searchLink fieldCode="DE" term="%22резерфордовское+обратное+рассеяние%22">резерфордовское обратное рассеяние</searchLink>
– Name: Abstract
  Label: Description
  Group: Ab
  Data: В настоящей работе методом резерфордовского обратного рассеяния ионов гелия в сочетании с каналированием (РОРКИ) исследовано дефектообразование в кристаллах (111) GaAs, имплантированных ионами алюминия энергией 60 кэВ и дозами 4,0·10{13} Al{+}/см{2} – 8,1·10{15} Al{+}/см{2} при комнатной температуре и фосфора с энергией 60 кэВ до дозы 4,0·10{14} Р{+}/см{2} после термического отжига в интервале температур 150−450 °С.
– Name: TypeDocument
  Label: Document Type
  Group: TypDoc
  Data: Article
– Name: Format
  Label: File Description
  Group: SrcInfo
  Data: application/pdf
– Name: Language
  Label: Language
  Group: Lang
  Data: Russian
– Name: URL
  Label: Access URL
  Group: URL
  Data: <link linkTarget="URL" linkTerm="https://elib.belstu.by/handle/123456789/57020" linkWindow="_blank">https://elib.belstu.by/handle/123456789/57020</link>
– Name: AN
  Label: Accession Number
  Group: ID
  Data: edsair.od......3992..5d94d0e52e90ac822f07bab4c9fd744f
PLink https://search.ebscohost.com/login.aspx?direct=true&site=eds-live&db=edsair&AN=edsair.od......3992..5d94d0e52e90ac822f07bab4c9fd744f
RecordInfo BibRecord:
  BibEntity:
    Languages:
      – Text: Russian
    Subjects:
      – SubjectFull: арсенид галлия
        Type: general
      – SubjectFull: ионы гелия
        Type: general
      – SubjectFull: дефектообразование
        Type: general
      – SubjectFull: ионы алюминия
        Type: general
      – SubjectFull: имплантация ионов
        Type: general
      – SubjectFull: ионы фосфора
        Type: general
      – SubjectFull: резерфордовское обратное рассеяние
        Type: general
    Titles:
      – TitleFull: Дефектообразование в арсениде галлия при имплантации ионов алюминия и фосфора
        Type: main
  BibRelationships:
    IsPartOfRelationships:
      – BibEntity:
          Dates:
            – D: 23
              M: 05
              Type: published
              Y: 2023
          Identifiers:
            – Type: issn-locals
              Value: edsair
ResultId 1