Bibliographic Details
| Title: |
Изучение химического состава и электронных состояний элементов на поверхности и в объеме тонких пленок In2О3 |
| Publisher Information: |
БГТУ, 2022. |
| Publication Year: |
2022 |
| Subject Terms: |
оже-электронной спектроскопия, тонкие пленки, оксид индия, электронные состояния, оксидные пленки, химический состав, термическое окисление, рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия |
| Description: |
Методами оже-электронной спектроскопии и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии изучены тонкие пленки In[2]O[3], полученные методом термического окисления индия. Изучение химического состава и электронных состояний элементов в пленках оксида индия позволило получить важную информацию, необходимую для описания свойств тонких пленок и прогнозирования их поведения при дальнейшем функционировании. |
| Document Type: |
Article |
| File Description: |
application/pdf |
| Language: |
Russian |
| Access URL: |
https://elib.belstu.by/handle/123456789/44913 |
| Accession Number: |
edsair.od......3992..4760a3da527bce423a7edb595faf08ba |
| Database: |
OpenAIRE |