Academic Journal
Особенности формирования легированных слоев на поверхности вентильных металлов в процессе ионно-ассистируемого осаждения металлов из плазмы вакуумного дугового разряда
| Title: | Особенности формирования легированных слоев на поверхности вентильных металлов в процессе ионно-ассистируемого осаждения металлов из плазмы вакуумного дугового разряда |
|---|---|
| Publisher Information: | 2024. |
| Publication Year: | 2024 |
| Subject Terms: | защита от коррозии, осаждение металлов, легирование поверхности, алюминий, ионно-ассистируемое осаждение, коррозионная стойкость, титан, вентильные металлы, тантал, энергодисперсионный анализ, алюминиевые сплавы |
| Description: | При ионно-ассистируемом осаждении металлов из плазмы вакуумного дугового разряда на поверхность вентильных металлов (Al, Ti, Ta) получены многокомпонентные аморфные слои толщиной ~30–50 нм, включающие атомы осажденных металлов, компоненты материала подложки, включая кислород поверхностной оксидной пленки, а также молекулы углеводородов в качестве примесей. Причем значительные количества газов включаются в состав формируемых слоев при осаждении металлов, обладающих геттерными свойствами. Процесс формирования слоев отличается одностадийностью, экономичностью и позволяет повышать коррозионную устойчивость и обеспечивать каталитическую активность материалов. |
| Document Type: | Article |
| File Description: | application/pdf |
| Language: | Russian |
| Access URL: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/64389 |
| Accession Number: | edsair.od......3992..2aa04e197603353b14d3184ec594ab5c |
| Database: | OpenAIRE |
Be the first to leave a comment!