Academic Journal
Состав и физико-химические свойства поверхностных слоев, формируемых ионно-ассистируемым осаждением металлов из плазмы импульсного дугового разряда
| Title: | Состав и физико-химические свойства поверхностных слоев, формируемых ионно-ассистируемым осаждением металлов из плазмы импульсного дугового разряда |
|---|---|
| Publisher Information: | БГТУ, 2017. |
| Publication Year: | 2017 |
| Subject Terms: | осаждение металлов, ионно-ассистируемое осаждение, модифицирование поверхности, ионно-лучевое модифицирование |
| Document Type: | Article |
| File Description: | application/pdf |
| Language: | Russian |
| Access URL: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/15442 |
| Accession Number: | edsair.od......3992..1b0237a1b9ef4f20c0620598e09abedc |
| Database: | OpenAIRE |
| Description not available. |