Academic Journal
Генерация низкотемпературной плазмы дуговых разрядов низкого давления для синтеза износостойких нитридных покрытий
| Title: | Генерация низкотемпературной плазмы дуговых разрядов низкого давления для синтеза износостойких нитридных покрытий |
|---|---|
| Contributors: | Томский государственный университет Физический факультет Кафедра физики плазмы, Томский государственный университет Физический факультет Научные подразделения ФФ |
| Source: | Известия высших учебных заведений. Физика. 2014. Т. 57, № 11/3. С. 87-92 |
| Publisher Information: | 2014. |
| Publication Year: | 2014 |
| Subject Terms: | плазма, нитридные покрытия, плазменное ассистирование, дуговой разряд, вакуумно-дуговое осаждение, газометаллическая плазма |
| Document Type: | Article |
| File Description: | application/pdf |
| Language: | Russian |
| Access URL: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000502137 |
| Accession Number: | edsair.od......3810..d8fefd88f8bba1ea9a6bd40a77e02ef2 |
| Database: | OpenAIRE |
Be the first to leave a comment!