Academic Journal
Исследование структуры многослойных металлических покрытий на кремнии методами РЭМ и СЗМ
| Title: | Исследование структуры многослойных металлических покрытий на кремнии методами РЭМ и СЗМ |
|---|---|
| Source: | Огарёв-Online. |
| Publisher Information: | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования «Национальный исследовательский Мордовский государственный университет им. Н. П. Огарёва», 2014. |
| Publication Year: | 2014 |
| Subject Terms: | МЕЖЭЛЕМЕНТНЫЕ СОЕДИНЕНИЯ,МНОГОСЛОЙНЫЕ МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ ПОКРЫТИЯ,РАСТРОВАЯ ЭЛЕКТРОННАЯ МИКРОСКОПИЯ,СИЛОВЫЕ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ,СКАНИРУЮЩАЯ ЗОНДОВАЯ МИКРОСКОПИЯ,СТРУКТУРА 'КРЕМНИЙ НА МОЛИБДЕНЕ', 05 social sciences, 0509 other social sciences, 0506 political science |
| Description: | Методом химического травления, травления фокусированным ионным пучком, растровой электронной микроскопии и сканирующей зондовой микроскопии определена структура и элементный состав многослойных металлических покрытий, используемых в качестве переходного омического интерфейса в контактной системе структур мощных силовых полупроводниковых приборов. Исследуемые металлические покрытия наносились на поверхность кремниевых структур по технологии магнетронного напыления. Полученные результаты демонстрируют эффективность совместного применения методов химического и ионного травления, РЭМ и СЗМ для исследования структуры и элементного состава многослойных металлических покрытий на кремнии. |
| Document Type: | Article |
| File Description: | text/html |
| Language: | Russian |
| ISSN: | 2311-2468 |
| Access URL: | http://cyberleninka.ru/article_covers/15766583.png http://cyberleninka.ru/article/n/issledovanie-struktury-mnogosloynyh-metallicheskih-pokrytiy-na-kremnii-metodami-rem-i-szm |
| Accession Number: | edsair.od......2806..e46b9e2c00cdda3ae88e2f25d2a1de9f |
| Database: | OpenAIRE |
Be the first to leave a comment!