Academic Journal
Προβολή σε EDS

Исследование структуры многослойных металлических покрытий на кремнии методами РЭМ и СЗМ

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Τίτλος: Исследование структуры многослойных металлических покрытий на кремнии методами РЭМ и СЗМ
Πηγή: Огарёв-Online.
Στοιχεία εκδότη: Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования «Национальный исследовательский Мордовский государственный университет им. Н. П. Огарёва», 2014.
Έτος έκδοσης: 2014
Θεματικοί όροι: МЕЖЭЛЕМЕНТНЫЕ СОЕДИНЕНИЯ,МНОГОСЛОЙНЫЕ МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ ПОКРЫТИЯ,РАСТРОВАЯ ЭЛЕКТРОННАЯ МИКРОСКОПИЯ,СИЛОВЫЕ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ,СКАНИРУЮЩАЯ ЗОНДОВАЯ МИКРОСКОПИЯ,СТРУКТУРА 'КРЕМНИЙ НА МОЛИБДЕНЕ', 05 social sciences, 0509 other social sciences, 0506 political science
Περιγραφή: Методом химического травления, травления фокусированным ионным пучком, растровой электронной микроскопии и сканирующей зондовой микроскопии определена структура и элементный состав многослойных металлических покрытий, используемых в качестве переходного омического интерфейса в контактной системе структур мощных силовых полупроводниковых приборов. Исследуемые металлические покрытия наносились на поверхность кремниевых структур по технологии магнетронного напыления. Полученные результаты демонстрируют эффективность совместного применения методов химического и ионного травления, РЭМ и СЗМ для исследования структуры и элементного состава многослойных металлических покрытий на кремнии.
Τύπος εγγράφου: Article
Περιγραφή αρχείου: text/html
Γλώσσα: Russian
ISSN: 2311-2468
Σύνδεσμος πρόσβασης: http://cyberleninka.ru/article_covers/15766583.png
http://cyberleninka.ru/article/n/issledovanie-struktury-mnogosloynyh-metallicheskih-pokrytiy-na-kremnii-metodami-rem-i-szm
Αριθμός Καταχώρησης: edsair.od......2806..e46b9e2c00cdda3ae88e2f25d2a1de9f
Βάση Δεδομένων: OpenAIRE
FullText Text:
  Availability: 0
CustomLinks:
  – Url: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=od______2806%3A%3Ae46b9e2c00cdda3ae88e2f25d2a1de9f
    Name: EDS - OpenAIRE (ns324271)
    Category: fullText
    Text: View record at OpenAIRE
Header DbId: edsair
DbLabel: OpenAIRE
An: edsair.od......2806..e46b9e2c00cdda3ae88e2f25d2a1de9f
RelevancyScore: 769
AccessLevel: 3
PubType: Academic Journal
PubTypeId: academicJournal
PreciseRelevancyScore: 769.473876953125
IllustrationInfo
Items – Name: Title
  Label: Title
  Group: Ti
  Data: Исследование структуры многослойных металлических покрытий на кремнии методами РЭМ и СЗМ
– Name: TitleSource
  Label: Source
  Group: Src
  Data: <i>Огарёв-Online</i>.
– Name: Publisher
  Label: Publisher Information
  Group: PubInfo
  Data: Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования «Национальный исследовательский Мордовский государственный университет им. Н. П. Огарёва», 2014.
– Name: DatePubCY
  Label: Publication Year
  Group: Date
  Data: 2014
– Name: Subject
  Label: Subject Terms
  Group: Su
  Data: <searchLink fieldCode="DE" term="%22МЕЖЭЛЕМЕНТНЫЕ+СОЕДИНЕНИЯ%2CМНОГОСЛОЙНЫЕ+МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ+ПОКРЫТИЯ%2CРАСТРОВАЯ+ЭЛЕКТРОННАЯ+МИКРОСКОПИЯ%2CСИЛОВЫЕ+ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ+ПРИБОРЫ%2CСКАНИРУЮЩАЯ+ЗОНДОВАЯ+МИКРОСКОПИЯ%2CСТРУКТУРА+'КРЕМНИЙ+НА+МОЛИБДЕНЕ'%22">МЕЖЭЛЕМЕНТНЫЕ СОЕДИНЕНИЯ,МНОГОСЛОЙНЫЕ МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ ПОКРЫТИЯ,РАСТРОВАЯ ЭЛЕКТРОННАЯ МИКРОСКОПИЯ,СИЛОВЫЕ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ,СКАНИРУЮЩАЯ ЗОНДОВАЯ МИКРОСКОПИЯ,СТРУКТУРА 'КРЕМНИЙ НА МОЛИБДЕНЕ'</searchLink><br /><searchLink fieldCode="DE" term="%2205+social+sciences%22">05 social sciences</searchLink><br /><searchLink fieldCode="DE" term="%220509+other+social+sciences%22">0509 other social sciences</searchLink><br /><searchLink fieldCode="DE" term="%220506+political+science%22">0506 political science</searchLink>
– Name: Abstract
  Label: Description
  Group: Ab
  Data: Методом химического травления, травления фокусированным ионным пучком, растровой электронной микроскопии и сканирующей зондовой микроскопии определена структура и элементный состав многослойных металлических покрытий, используемых в качестве переходного омического интерфейса в контактной системе структур мощных силовых полупроводниковых приборов. Исследуемые металлические покрытия наносились на поверхность кремниевых структур по технологии магнетронного напыления. Полученные результаты демонстрируют эффективность совместного применения методов химического и ионного травления, РЭМ и СЗМ для исследования структуры и элементного состава многослойных металлических покрытий на кремнии.
– Name: TypeDocument
  Label: Document Type
  Group: TypDoc
  Data: Article
– Name: Format
  Label: File Description
  Group: SrcInfo
  Data: text/html
– Name: Language
  Label: Language
  Group: Lang
  Data: Russian
– Name: ISSN
  Label: ISSN
  Group: ISSN
  Data: 2311-2468
– Name: URL
  Label: Access URL
  Group: URL
  Data: <link linkTarget="URL" linkTerm="http://cyberleninka.ru/article_covers/15766583.png" linkWindow="_blank">http://cyberleninka.ru/article_covers/15766583.png</link><br /><link linkTarget="URL" linkTerm="http://cyberleninka.ru/article/n/issledovanie-struktury-mnogosloynyh-metallicheskih-pokrytiy-na-kremnii-metodami-rem-i-szm" linkWindow="_blank">http://cyberleninka.ru/article/n/issledovanie-struktury-mnogosloynyh-metallicheskih-pokrytiy-na-kremnii-metodami-rem-i-szm</link>
– Name: AN
  Label: Accession Number
  Group: ID
  Data: edsair.od......2806..e46b9e2c00cdda3ae88e2f25d2a1de9f
PLink https://search.ebscohost.com/login.aspx?direct=true&site=eds-live&db=edsair&AN=edsair.od......2806..e46b9e2c00cdda3ae88e2f25d2a1de9f
RecordInfo BibRecord:
  BibEntity:
    Languages:
      – Text: Russian
    Subjects:
      – SubjectFull: МЕЖЭЛЕМЕНТНЫЕ СОЕДИНЕНИЯ,МНОГОСЛОЙНЫЕ МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ ПОКРЫТИЯ,РАСТРОВАЯ ЭЛЕКТРОННАЯ МИКРОСКОПИЯ,СИЛОВЫЕ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ,СКАНИРУЮЩАЯ ЗОНДОВАЯ МИКРОСКОПИЯ,СТРУКТУРА 'КРЕМНИЙ НА МОЛИБДЕНЕ'
        Type: general
      – SubjectFull: 05 social sciences
        Type: general
      – SubjectFull: 0509 other social sciences
        Type: general
      – SubjectFull: 0506 political science
        Type: general
    Titles:
      – TitleFull: Исследование структуры многослойных металлических покрытий на кремнии методами РЭМ и СЗМ
        Type: main
  BibRelationships:
    IsPartOfRelationships:
      – BibEntity:
          Dates:
            – D: 01
              M: 01
              Type: published
              Y: 2014
          Identifiers:
            – Type: issn-print
              Value: 23112468
            – Type: issn-locals
              Value: edsair
            – Type: issn-locals
              Value: edsairFT
          Titles:
            – TitleFull: Огарёв-Online
              Type: main
ResultId 1