Academic Journal
Влияние параметров осаждения на толщину модифицированного слоя при динамическом атомном перемешивании Pd/Fe-структур
| Τίτλος: | Влияние параметров осаждения на толщину модифицированного слоя при динамическом атомном перемешивании Pd/Fe-структур |
|---|---|
| Πηγή: | Труды БГТУ. Серия 6: Физико-математические науки и информатика. |
| Στοιχεία εκδότη: | УО «Белорусский государственный технологический университет», 2014. |
| Έτος έκδοσης: | 2014 |
| Θεματικοί όροι: | РЕЗЕРФОРДОВСКОЕ ОБРАТНОЕ РАССЕЯНИЕ,ДИНАМИЧЕСКОЕ АТОМНОЕ ПЕРЕМЕШИВАНИЕ,ОСАЖДЕНИЕ ПОКРЫТИЙ,PB-ПОКРЫТИЯ,МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ ПОКРЫТИЯ |
| Περιγραφή: | Методом резерфордовского обратного рассеяния ионов гелия в сочетании с компьютерным моделированием определено, что при осаждении Pd-покрытия на железо методом динамического атомного перемешивания, в котором в качестве ассистирующих ионов использовались ионы Аг+ с энергией 6 кэВ, и интегральными потоками (0,7-1,6) • 1016 ионЛ;м2 формируется Pd-пленка толщиной -(14-23) нм. Установлено, что толщина сформированного покрытия зависит от параметра I / A (отношение числа I ассистирующих ионов к числу A атомов осаждаемого покрытия). При расчете толщины пленки необходимо учитывать помимо распыления ассистирующими ионами атомов покрытия также распыление атомов подложки. |
| Τύπος εγγράφου: | Article |
| Περιγραφή αρχείου: | text/html |
| Γλώσσα: | Russian |
| ISSN: | 1683-0377 |
| Σύνδεσμος πρόσβασης: | http://cyberleninka.ru/article_covers/16945601.png http://cyberleninka.ru/article/n/vliyanie-parametrov-osazhdeniya-na-tolschinu-modifitsirovannogo-sloya-pri-dinamicheskom-atomnom-peremeshivanii-pd-fe-struktur |
| Αριθμός Καταχώρησης: | edsair.od......2806..8be0dc174a090cb7b0bc7a4abceca6cd |
| Βάση Δεδομένων: | OpenAIRE |
| ISSN: | 16830377 |
|---|