Academic Journal
Влияние примеси олова на структуру и оптические свойства SiOx матрицы
| Title: | Влияние примеси олова на структуру и оптические свойства SiOx матрицы |
|---|---|
| Contributors: | ELAKPI |
| Publisher Information: | НТУУ «КПІ», 2016. |
| Publication Year: | 2016 |
| Subject Terms: | нанокристаллический кремний, кристаллизация, тонкопленочный кремний, легирование оловом, изохронный отжиг |
| Document Type: | Article |
| File Description: | application/pdf |
| Language: | Ukrainian |
| Access URL: | https://ela.kpi.ua/handle/123456789/16618 |
| Accession Number: | edsair.od......2635..d2a42c6519604a8a57f7d7e1f01b19d7 |
| Database: | OpenAIRE |
| Description not available. |