Academic Journal
О математических моделях высокочастотного емкостного разряда
| Title: | О математических моделях высокочастотного емкостного разряда |
|---|---|
| Contributors: | Казанский (Приволжский) федеральный университет |
| Publisher Information: | 2013. |
| Publication Year: | 2013 |
| Subject Terms: | математическая модель, конечнно-разностный метод, большое межэлектродное расстояние, высокочастотный емкостный разряд, низкотемпературная плазма |
| Description: | Проведен анализ математических моделей, а также данных экспериментальных исследований высокочастотного емкостного (ВЧЕ) разряда. В настоящие время созданы и исследованы модели, подробно описывающие свойства ВЧЕ-разрядов при межэлектродных расстоя\-ни\-ях порядка 3-5 см. При таких межэлектродных расстояниях нагрев газа не играет существенной роли в балансе рождения и гибели заряженных частиц в разряде. Свойства ВЧЕ-разряда при больших межэлектродных расстояниях (больших 10 см) практически не исследованы. При таких расстояниях существенную роль в поддержании разряда играет нагрев газа. Существующие модели не учитывают потери энергии на возбуждение атомов и нагрев газа. Кроме того, они неприменимы в случае сильных полей, так в этом случае частота ионизации монотонно нарастает с ростом отношения напряженности электрического поля к давлению, тогда как в очень сильных полях ионизационная способность с ростом поля падает. В связи с этим для определения диапазона устойчивого горения ВЧЕ-разряда пониженного давления в плазмотроне с большим межэлектродным расстоянием математическую модель необходимо дополнить уравнениями, учитывающими перенос энергии электронами и нагрев газа. 98-128 |
| Document Type: | Article |
| Access URL: | https://openrepository.ru/article?id=126456 |
| Accession Number: | edsair.httpsopenrep..f9509dd3ce487bb305f30796a9ccf8f6 |
| Database: | OpenAIRE |
| Description not available. |