Bibliographic Details
| Title: |
Влияние ионно-ассистируемого осаждения на содержание водорода в структурах Me/Si |
| Publisher Information: |
БГТУ, 2020. |
| Publication Year: |
2020 |
| Subject Terms: |
структуры Ме/Si, метод РОР, ионно-ассистируемое осаждение, метод резерфордовского обратного рассеяния, водород, концентрации водорода, приповерхностные слои |
| Description: |
В работе обсуждаются экспериментальные результаты по изучению приповерхностных слоев структур Ме/Si, сформированных методом ионно-ассистируемого осаждения в вакууме. В качестве подложки использовался образцы из кремния, на которые наносились металлсодержащие покрытие на основе Cr, Ti, Zr. |
| Document Type: |
Article |
| File Description: |
application/pdf |
| Language: |
Russian |
| Access URL: |
https://openrepository.ru/article?id=458258 |
| Accession Number: |
edsair.httpsopenrep..e3557070536340df736eae75f4042322 |
| Database: |
OpenAIRE |