Academic Journal
Προβολή σε EDS

ВЛИЯНИЕ ОТЖИГА НА ПОВЕДЕНИЕ КИСЛОРОДА В МОНОКРИСТАЛЛАХ ГЕРМАНИЯ

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Τίτλος: ВЛИЯНИЕ ОТЖИГА НА ПОВЕДЕНИЕ КИСЛОРОДА В МОНОКРИСТАЛЛАХ ГЕРМАНИЯ
Συνεισφορές: Институт цветных металлов и материаловедения, Кафедра композиционных материалов и физико-химии металлургических процессов
Στοιχεία εκδότη: 2016.
Έτος έκδοσης: 2016
Θεματικοί όροι: отжиг, кислород, волновое число, ИК-спектрометрия, термодоноры, 31.19.15, монокристаллический германий, примеси
Περιγραφή: Производство полупроводникового германия вносит вклад в развитие аэрокосмического приборостроения. Бездислокационные монокристаллы германия используются для создания эффективных фотопреобразователей космического базирования. Кристаллы с предельно низким содержанием примесей и дефектов находят применение для изготовления цифровых устройств в распределенных системах электропитания бортовой аппаратуры ракетно-космической техники. Одной из основных примесей в германии, определяющей структурное совершенство и свойства монокристаллов, является кислород. Предметом настоящей работы является анализ влияния отжига кристаллов германия на поведение растворенного в них кислорода. Исследование примеси кислорода в монокристаллах проведено методом ИК-спектрометрии. По величине оптической плотности в максимуме полосы поглощения в ИК-спектре на волновом числе 843,0 см−1 определена концентрация кислорода в кристаллах Ge, которая изменяется от 0,2•1016 до 1,3•1016 см−3 в зависимости от их качества. Изучено влияние отжига в интервале температуры 350–450°С на поведение растворенного в германии кислорода. Установлено, что после отжига в среде с парциальным давлением кислорода от 103 до 1 Па увеличивается его концентрация в кристаллах, и максимум кислородной полосы смещается с волнового числа 843 на 856 см–1. Отжиг при более низком приводит к уменьшению интенсивности кислородной полосы 843 см–1 вследствие образования термодоноров на основе растворенного междоузельного кислорода. Результаты проведенных исследований могут быть использованы в технологии полупроводникового германия для получения монокристаллов с заранее заданными содержанием, формой присутствия кислорода и контролируемыми посредством этого свойствами.
Текст статьи не публикуется в открытом доступе в соответствии с политикой журнала.
Τύπος εγγράφου: Article
Σύνδεσμος πρόσβασης: https://openrepository.ru/article?id=453827
Αριθμός Καταχώρησης: edsair.httpsopenrep..7e9d1bb08dc85e4e18d5f90af0dbb916
Βάση Δεδομένων: OpenAIRE
FullText Text:
  Availability: 0
Header DbId: edsair
DbLabel: OpenAIRE
An: edsair.httpsopenrep..7e9d1bb08dc85e4e18d5f90af0dbb916
RelevancyScore: 787
AccessLevel: 3
PubType: Academic Journal
PubTypeId: academicJournal
PreciseRelevancyScore: 787.438598632813
IllustrationInfo
Items – Name: Title
  Label: Title
  Group: Ti
  Data: ВЛИЯНИЕ ОТЖИГА НА ПОВЕДЕНИЕ КИСЛОРОДА В МОНОКРИСТАЛЛАХ ГЕРМАНИЯ
– Name: Author
  Label: Contributors
  Group: Au
  Data: Институт цветных металлов и материаловедения<br />Кафедра композиционных материалов и физико-химии металлургических процессов
– Name: Publisher
  Label: Publisher Information
  Group: PubInfo
  Data: 2016.
– Name: DatePubCY
  Label: Publication Year
  Group: Date
  Data: 2016
– Name: Subject
  Label: Subject Terms
  Group: Su
  Data: <searchLink fieldCode="DE" term="%22отжиг%22">отжиг</searchLink><br /><searchLink fieldCode="DE" term="%22кислород%22">кислород</searchLink><br /><searchLink fieldCode="DE" term="%22волновое+число%22">волновое число</searchLink><br /><searchLink fieldCode="DE" term="%22ИК-спектрометрия%22">ИК-спектрометрия</searchLink><br /><searchLink fieldCode="DE" term="%22термодоноры%22">термодоноры</searchLink><br /><searchLink fieldCode="DE" term="%2231%2E19%2E15%22">31.19.15</searchLink><br /><searchLink fieldCode="DE" term="%22монокристаллический+германий%22">монокристаллический германий</searchLink><br /><searchLink fieldCode="DE" term="%22примеси%22">примеси</searchLink>
– Name: Abstract
  Label: Description
  Group: Ab
  Data: Производство полупроводникового германия вносит вклад в развитие аэрокосмического приборостроения. Бездислокационные монокристаллы германия используются для создания эффективных фотопреобразователей космического базирования. Кристаллы с предельно низким содержанием примесей и дефектов находят применение для изготовления цифровых устройств в распределенных системах электропитания бортовой аппаратуры ракетно-космической техники. Одной из основных примесей в германии, определяющей структурное совершенство и свойства монокристаллов, является кислород. Предметом настоящей работы является анализ влияния отжига кристаллов германия на поведение растворенного в них кислорода. Исследование примеси кислорода в монокристаллах проведено методом ИК-спектрометрии. По величине оптической плотности в максимуме полосы поглощения в ИК-спектре на волновом числе 843,0 см−1 определена концентрация кислорода в кристаллах Ge, которая изменяется от 0,2•1016 до 1,3•1016 см−3 в зависимости от их качества. Изучено влияние отжига в интервале температуры 350–450°С на поведение растворенного в германии кислорода. Установлено, что после отжига в среде с парциальным давлением кислорода от 103 до 1 Па увеличивается его концентрация в кристаллах, и максимум кислородной полосы смещается с волнового числа 843 на 856 см–1. Отжиг при более низком приводит к уменьшению интенсивности кислородной полосы 843 см–1 вследствие образования термодоноров на основе растворенного междоузельного кислорода. Результаты проведенных исследований могут быть использованы в технологии полупроводникового германия для получения монокристаллов с заранее заданными содержанием, формой присутствия кислорода и контролируемыми посредством этого свойствами.<br />Текст статьи не публикуется в открытом доступе в соответствии с политикой журнала.
– Name: TypeDocument
  Label: Document Type
  Group: TypDoc
  Data: Article
– Name: URL
  Label: Access URL
  Group: URL
  Data: <link linkTarget="URL" linkTerm="https://openrepository.ru/article?id=453827" linkWindow="_blank">https://openrepository.ru/article?id=453827</link>
– Name: AN
  Label: Accession Number
  Group: ID
  Data: edsair.httpsopenrep..7e9d1bb08dc85e4e18d5f90af0dbb916
PLink https://search.ebscohost.com/login.aspx?direct=true&site=eds-live&db=edsair&AN=edsair.httpsopenrep..7e9d1bb08dc85e4e18d5f90af0dbb916
RecordInfo BibRecord:
  BibEntity:
    Languages:
      – Text: Undetermined
    Subjects:
      – SubjectFull: отжиг
        Type: general
      – SubjectFull: кислород
        Type: general
      – SubjectFull: волновое число
        Type: general
      – SubjectFull: ИК-спектрометрия
        Type: general
      – SubjectFull: термодоноры
        Type: general
      – SubjectFull: 31.19.15
        Type: general
      – SubjectFull: монокристаллический германий
        Type: general
      – SubjectFull: примеси
        Type: general
    Titles:
      – TitleFull: ВЛИЯНИЕ ОТЖИГА НА ПОВЕДЕНИЕ КИСЛОРОДА В МОНОКРИСТАЛЛАХ ГЕРМАНИЯ
        Type: main
  BibRelationships:
    HasContributorRelationships:
      – PersonEntity:
          Name:
            NameFull: Институт цветных металлов и материаловедения
      – PersonEntity:
          Name:
            NameFull: Кафедра композиционных материалов и физико-химии металлургических процессов
    IsPartOfRelationships:
      – BibEntity:
          Dates:
            – D: 01
              M: 01
              Type: published
              Y: 2016
          Identifiers:
            – Type: issn-locals
              Value: edsair
ResultId 1