Academic Journal

Детектирование дефектов пленок SiO₂ холестерическими жидкими кристаллами

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Τίτλος: Детектирование дефектов пленок SiO₂ холестерическими жидкими кристаллами
Στοιχεία εκδότη: 2017.
Έτος έκδοσης: 2017
Θεματικοί όροι: диэлектрические пленки, физика, электрооптический эффект, кристаллография, холестерические жидкие кристаллы, оксид кремния, дефект пленки, физика твердого тела
Περιγραφή: Рассмотрена возможность регистрации дефектов пленки окиси кремния на кремнии с помощью нескольких электрооптических эффектов, присущих холестерическому жидкому кристаллу
Τύπος εγγράφου: Article
Γλώσσα: Russian
Σύνδεσμος πρόσβασης: https://openrepository.ru/article?id=11759
Αριθμός Καταχώρησης: edsair.httpsopenrep..73c463eb9ebabeda9742b110c79f76a8
Βάση Δεδομένων: OpenAIRE
Περιγραφή
Η περιγραφή δεν είναι διαθέσιμη