Academic Journal
Детектирование дефектов пленок SiO₂ холестерическими жидкими кристаллами
| Title: | Детектирование дефектов пленок SiO₂ холестерическими жидкими кристаллами |
|---|---|
| Publisher Information: | 2017. |
| Publication Year: | 2017 |
| Subject Terms: | диэлектрические пленки, физика, электрооптический эффект, кристаллография, холестерические жидкие кристаллы, оксид кремния, дефект пленки, физика твердого тела |
| Description: | Рассмотрена возможность регистрации дефектов пленки окиси кремния на кремнии с помощью нескольких электрооптических эффектов, присущих холестерическому жидкому кристаллу |
| Document Type: | Article |
| Language: | Russian |
| Access URL: | https://openrepository.ru/article?id=11759 |
| Accession Number: | edsair.httpsopenrep..73c463eb9ebabeda9742b110c79f76a8 |
| Database: | OpenAIRE |
Be the first to leave a comment!