Academic Journal
Влияние воздействия термического отжига на дефектообразование в арсениде галлия при имплантации ионов фосфора
| Τίτλος: | Влияние воздействия термического отжига на дефектообразование в арсениде галлия при имплантации ионов фосфора |
|---|---|
| Στοιχεία εκδότη: | БГТУ, 2019. |
| Έτος έκδοσης: | 2019 |
| Θεματικοί όροι: | арсенид галлия, дефектообразование, резерфордовское обратное рассеяние ионов гелия, термический отжиг, имплантированные слои кристаллов, кристаллы, имплантация ионов фосфора |
| Τύπος εγγράφου: | Article |
| Περιγραφή αρχείου: | application/pdf |
| Σύνδεσμος πρόσβασης: | https://openrepository.ru/article?id=31502 |
| Αριθμός Καταχώρησης: | edsair.httpsopenrep..6080639fe7e6f29e06eefe4275152fd8 |
| Βάση Δεδομένων: | OpenAIRE |
| Η περιγραφή δεν είναι διαθέσιμη |