Academic Journal
Влияние воздействия термического отжига на дефектообразование в арсениде галлия при имплантации ионов фосфора
| Title: | Влияние воздействия термического отжига на дефектообразование в арсениде галлия при имплантации ионов фосфора |
|---|---|
| Publisher Information: | БГТУ, 2019. |
| Publication Year: | 2019 |
| Subject Terms: | арсенид галлия, дефектообразование, резерфордовское обратное рассеяние ионов гелия, термический отжиг, имплантированные слои кристаллов, кристаллы, имплантация ионов фосфора |
| Document Type: | Article |
| File Description: | application/pdf |
| Access URL: | https://openrepository.ru/article?id=31502 |
| Accession Number: | edsair.httpsopenrep..6080639fe7e6f29e06eefe4275152fd8 |
| Database: | OpenAIRE |
| Description not available. |