Academic Journal
Принципы конструктивно-технологического формирования емкостных влагосенсорных al o -наноструктур и исследование их чувствительных параметров
| Title: | Принципы конструктивно-технологического формирования емкостных влагосенсорных al o -наноструктур и исследование их чувствительных параметров |
|---|---|
| Publisher Information: | Тверский государственный университет, 2015. |
| Publication Year: | 2015 |
| Subject Terms: | влагочувствительный элемент, электрохимическое анодирование, алюминий, пористый оксид алюминия, публикации ученых, мембрана, наноструктурированный материал |
| Description: | Разработаны объемно-планарные варианты емкостных МДМ (металл-диэлектрик-металл) структур вертикальной направленности, основанных на высокоорганизованных матрицах свободных мембран пористого оксида алюминия для применения во влагочувствительных элементах. Улучшение чувствительности к влаге, снижение времени отклика и времени восстановления в широком диапазоне измерения относительной влажности были получены благодаря формированию алюмооксидных мембран без барьерного слоя со сквозными и расширенными порами. Такой технологический подход позволил исключить влияние анионов электролита анодирования, встроенных на внешней стороне стенок пор, на механизм адсорбционных и десорбционных процессов влагочувствительных элементов. |
| Document Type: | Article |
| Language: | Russian |
| Access URL: | https://openrepository.ru/article?id=216920 |
| Accession Number: | edsair.httpsopenrep..53fa2addcf4363543b5f6e5f72ea09be |
| Database: | OpenAIRE |
Be the first to leave a comment!