Academic Journal

Обеднение кремния, индуцированное пленками нитрида кремния в структуре Si/Si₃N₄/Нематик/ITO

Bibliographic Details
Title: Обеднение кремния, индуцированное пленками нитрида кремния в структуре Si/Si₃N₄/Нематик/ITO
Publisher Information: 2017.
Publication Year: 2017
Subject Terms: нитрид кремния, электроды, светочувствительность, физика, кристаллография, магнетрон, жидкие кристаллы, лазерное излучение, нематик, физика твердого тела, кремний
Description: Наноразмерные (< 10 нм) пленки нитрида кремния, полученные магнетронным напылением, изменяют порог светочувствительности МДП структуры типа Si/Si3N4/HeMaTHK 5СВ/прозрачный электрод. Сдвиг смещения порога светочувствительности демонстрирует пропорциональность толщине пленок на начальных этапах их напыления
Document Type: Article
Language: Russian
Access URL: https://openrepository.ru/article?id=11761
Accession Number: edsair.httpsopenrep..4eef10c3061f1011b2df9ba4db1005d4
Database: OpenAIRE
Description
Description not available.