Bibliographic Details
| Title: |
Обеднение кремния, индуцированное пленками нитрида кремния в структуре Si/Si₃N₄/Нематик/ITO |
| Publisher Information: |
2017. |
| Publication Year: |
2017 |
| Subject Terms: |
нитрид кремния, электроды, светочувствительность, физика, кристаллография, магнетрон, жидкие кристаллы, лазерное излучение, нематик, физика твердого тела, кремний |
| Description: |
Наноразмерные (< 10 нм) пленки нитрида кремния, полученные магнетронным напылением, изменяют порог светочувствительности МДП структуры типа Si/Si3N4/HeMaTHK 5СВ/прозрачный электрод. Сдвиг смещения порога светочувствительности демонстрирует пропорциональность толщине пленок на начальных этапах их напыления |
| Document Type: |
Article |
| Language: |
Russian |
| Access URL: |
https://openrepository.ru/article?id=11761 |
| Accession Number: |
edsair.httpsopenrep..4eef10c3061f1011b2df9ba4db1005d4 |
| Database: |
OpenAIRE |